等離子體納米表面處理改造系統(tǒng)
- 公司名稱 武漢賽斯特精密儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/10/10 18:47:35
- 訪問(wèn)次數(shù) 454
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子 |
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等離子體納米表面處理改造系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn):
等離子源采用頻率為13.56MHz射頻發(fā)生器,同時(shí)具備物理清洗和化學(xué)清洗能力。
電源功率為200W,覆蓋常規(guī)處理需求。
創(chuàng)新設(shè)計(jì),可調(diào)整電極之間距離,調(diào)整等離子體濃度和強(qiáng)度,大提升處理效率和能力。
真空腔體和管道連接件均采用316不銹鋼,電極6061航空鋁合金,配件材質(zhì)精良,保證設(shè)備穩(wěn)定高效運(yùn)行。
樣品處理面積可達(dá)125mm(大處理面積可達(dá)200mm,如有需求請(qǐng)咨詢銷售人員)。
4.3寸工業(yè)級(jí)觸摸屏,操作簡(jiǎn)單,可設(shè)置多種實(shí)驗(yàn)參數(shù)。
性能穩(wěn)定可靠,質(zhì)量穩(wěn)定,自主研發(fā),售后有保障。
等離子體納米表面處理改造系統(tǒng)產(chǎn)品參數(shù):
1. 真空腔規(guī)格:316不銹鋼腔體,直徑210mm*(深)230mm,約4L
2. 電極:兩個(gè)自適應(yīng)平板電極,材質(zhì)T6061鋁合金
3. 電極尺寸:120*135mm間距20~75mm可調(diào)
4. 等離子體發(fā)生器:RF射頻發(fā)生器,頻率:13.56MHz
5. 功率:0-200W連續(xù)可調(diào),精度1W
6. 氣體控制:針式氣體流量閥,標(biāo)配1路氣體
7. 控制方式:4.3寸工業(yè)控制觸摸屏
控制軟件功能:界面顯示實(shí)時(shí)工作狀態(tài)
可顯示設(shè)置值與實(shí)際值,便于實(shí)時(shí)控制
可自由設(shè)置等離子功率,通入氣體時(shí)間
全手動(dòng)控制和全自動(dòng)控制可選
8. 保護(hù)裝置:一鍵急停保護(hù)按鈕
等離子體表面處理系統(tǒng)Pluto-M參數(shù)(標(biāo)準(zhǔn)配置) | |||
外部尺寸 | 404*640*515mm | ||
真空腔尺寸 | 直徑210mm*230mm | 不銹鋼腔體 | |
電極尺寸 | 125*125mm | 多空自適應(yīng)平板電極 | |
等離子體發(fā)生器 | RF射頻發(fā)生器,頻率:13.56MHz | 自適應(yīng)阻抗匹配電源 | |
功率 | 0-200W連續(xù)可調(diào) | 精度1W | |
真空計(jì) | 熱電偶真空計(jì) 0-1000mT | ||
供氣 | 1路氣體 | 6mm國(guó)標(biāo)連接件(軟管) | |
控制方式 | 4.3寸觸摸屏 | ||
可選配置 | |||
ALC | 純鋁腔體 | ||
RF-300 | 等離子體發(fā)生器 | 頻率13.56MHz,0-300W自動(dòng)阻抗匹配電源 | |
可調(diào)電極 | 可調(diào)節(jié)電極間距 | 電極間距20-60mm可調(diào),改變等離子體場(chǎng)濃度特性 | |
CM裝置 | 沉積鍍膜模塊 | 用于改變表面特性: 1. 沉積CF材料,樣品表面可以具有憎水的特性 2. 沉積含苯材料,樣品表面起到絕緣防水的特性 3. 沉積含有羥基的材料,提高樣品表面和其他材料的結(jié)合效果 | |
GP裝置 | 氣體純化裝置 | ||
PPU | 粉體處理裝置 | 用于處理微納米級(jí)別顆粒 | |
氣體收集裝置 | 用于收集等離子體化學(xué)反應(yīng)后的氣體 | ||
小型氧氣發(fā)生器 | 用于制備氧氣,可取代氧氣罐 | ||
氣體混合裝置 | 可以根據(jù)可以要求進(jìn)行混氣設(shè)計(jì) | ||
感應(yīng)耦合模塊 | 感應(yīng)耦合等離子體裝置 | ||
加熱電極模塊 | 電極可以加熱,室溫~200度可調(diào) | ||
光譜儀模塊 | 可以增加光譜儀的接口,檢測(cè)等離子體光譜變化 | ||
電極轉(zhuǎn)換模塊 | 可以自由變換電極設(shè)計(jì),樣品可以放在射頻電極上,也可以放在地電極上。從而實(shí)現(xiàn)不同的處理效果 |