IH-860DSIC 半導(dǎo)體設(shè)備離子注入機(jī)
- 公司名稱 青島泰斯邁儀器設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) IH-860DSIC
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2021/10/11 10:54:12
- 訪問(wèn)次數(shù) 447
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子 |
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配備高溫ESC的SiC量產(chǎn)用高能離子注入裝置。
特長(zhǎng)
·可以自動(dòng)連續(xù)高溫處理注入
·1價(jià)離子可注入350keV,2價(jià)離子可注入700keV(可選擇1價(jià)離子可注入430keV,2價(jià)離子可支持860keV)
·在雙端站實(shí)現(xiàn)高吞吐量(A系4“高溫ESC/B系3”高溫ESC、A系6“高溫ESC/B系6”常溫ESC等,可根據(jù)客戶的要求構(gòu)建規(guī)格)
·可以進(jìn)行鏈條注入,減輕操作員的負(fù)荷
·小型設(shè)計(jì)
·從試作到量產(chǎn)可以廣泛對(duì)應(yīng)
特長(zhǎng)
·可以自動(dòng)連續(xù)高溫處理注入
·1價(jià)離子可注入350keV,2價(jià)離子可注入700keV(可選擇1價(jià)離子可注入430keV,2價(jià)離子可支持860keV)
·在雙端站實(shí)現(xiàn)高吞吐量(A系4“高溫ESC/B系3”高溫ESC、A系6“高溫ESC/B系6”常溫ESC等,可根據(jù)客戶的要求構(gòu)建規(guī)格)
·可以進(jìn)行鏈條注入,減輕操作員的負(fù)荷
·小型設(shè)計(jì)
·從試作到量產(chǎn)可以廣泛對(duì)應(yīng)