FPNAN-NS-3500 高速共焦激光掃描顯微鏡
- 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) FPNAN-NS-3500
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/8/27 11:27:44
- 訪問次數(shù) 707
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
---|---|---|---|
儀器種類 | 超高速激光共聚焦顯微成像系統(tǒng) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,生命科學(xué)及材料 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,生命科學(xué)及材料 |
高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM),用于精確可靠的三維(3D)測(cè)量。通過快速光學(xué)掃描模塊和信號(hào)處理算法實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)共焦顯微圖像,廣泛用于微納尺度的臺(tái)階高度測(cè)量,寬度測(cè)量,長度測(cè)量等。廣泛用于半導(dǎo)體晶片、平板產(chǎn)品、MEMS器件、玻璃基板、材料表面等微觀三維結(jié)構(gòu)的測(cè)量和檢測(cè)。
高速共焦激光掃描顯微鏡特點(diǎn)
-高分辨率無損光學(xué)三維測(cè)量
-實(shí)時(shí)共焦成像
-各種光學(xué)變焦
-同時(shí)亮場(chǎng)和共焦成像
-具有精細(xì)自動(dòng)聚焦的自動(dòng)增益搜索
-傾斜補(bǔ)償
-簡(jiǎn)易分析模式
-精密可靠的高速測(cè)高
-通過半透明基板檢查特征
-無樣品制備
-寬范圍檢測(cè)的圖像拼接
高速共焦激光掃描顯微鏡應(yīng)用
這款共焦顯微鏡可以測(cè)量微納結(jié)構(gòu)的高度,寬度,角度,面積,體積,比如?
半導(dǎo)體領(lǐng)域:IC圖案、凸起高度、線環(huán)高度,缺陷檢查,CMP工藝
FPD產(chǎn)品:觸摸屏檢查,ITO圖案,LCD列間隔高度
MEMS設(shè)備–結(jié)構(gòu)的三維輪廓,表面粗糙度,MEMS圖形
玻璃表面-薄膜太陽能電池,太陽能電池紋理,激光圖形
材料研究-工裝表面檢查,糙度、裂紋分析
高速共焦激光掃描顯微鏡規(guī)格參數(shù)
規(guī)格 | 顯微鏡 | NS-3500 | Remark | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
控制器 | NS-3500E | ||||||
物鏡倍數(shù) | 10× | 20× | 50× | 100× | 150× | ||
觀察 /測(cè)量范圍 | 水平 (H): μm | 1400 | 700 | 280 | 140 | 93 | |
豎直 (V): μm | 1050 | 525 | 210 | 105 | 70 | ||
工作距離: mm | 16.5 | 3.1 | 0.54 | 0.3 | 0.2 | ||
豎直孔徑 (N.A.) | 0.30 | 0.46 | 0.80 | 0.95 | 0.95 | ||
光學(xué)放大 | ×1 ~ ×6 | ||||||
總放大 | 178× ~ 26700× | ||||||
觀察/測(cè)量的光學(xué)系統(tǒng) | 小孔Pinhole共聚焦光學(xué)系統(tǒng) | ||||||
高度測(cè)量(臺(tái)階模式) | 測(cè)量掃描范圍 | Fine scan : 100 μm (and/or) Long scan : 7 mm [NS-3800-L] | Note 1 | ||||
Fine scan : 400 μm (and/or) Long scan : 10 mm [NS-3800-D | |||||||
Fine scan : 200 μm (or) Long scan : 10 mm [NS-3800-T] | |||||||
顯示分辨率 | 0.001 μm | ||||||
重復(fù)精度 σ | 0.010 μm | Note 2 | |||||
寬度測(cè)量 | 顯示分辨率 | 0.001 μm | |||||
重復(fù)精度3σ | 0.02 μm | Note 3 | |||||
幀內(nèi)存 | 像素計(jì)數(shù) | 1024×768, 1024×384, 1024×192, 1024×96 | |||||
共聚焦圖像圖像 | 12 bit | ||||||
彩色圖像 | 8-bit for RGB each | ||||||
高度測(cè)量 | 16 bit | ||||||
幀頻 | 表面掃描 | 20 Hz to 160 Hz | |||||
線掃描 | ~8 kHz | ||||||
自動(dòng)功能 | 自動(dòng)聚焦 | ||||||
光束光源 | 波長 | Violet laser, 405 nm | |||||
輸出 | ~2 mW | ||||||
激光光源 | Class 3b | ||||||
激光探測(cè)器 | PMT (photomultiplier tube) | ||||||
數(shù)據(jù)處理 | Dedicated PC | ||||||
供電要求 | 供電要求 | 100 to 240 VAC, 50/60 Hz | |||||
電流消耗 | 500 VA max. | ||||||
重量 | 顯微鏡 | Approx. ~ 8 kg | |||||
控制器 | ~8 kg |
Note 1 :
Fine scan is performed by piezoelectric actuator (PZT).
Dual scan mode by fine and long scanner is available only for single lens type.Note 2 :
100 times measurement of standard sample (1μm step height) with 100× / 0.95 objective.
Note 3 :
100 times measurement of standard sample (5μm pitch) with 100× / 0.95 objective.