從不可見(jiàn)到可見(jiàn)：MIX觀察與采集

新MX63/MX63L工具顯微鏡是該系列首G支持奧林巴斯MIX照明功能的產(chǎn)品，由此進(jìn)一步提升了該顯微鏡的觀察能力。MIX可將暗場(chǎng)與明場(chǎng)、熒光或偏振等其他觀察方法結(jié)合使用。在很多應(yīng)用中，MIX能夠幫助用戶觀察到使用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷。

長(zhǎng)壽命高強(qiáng)度白色LED照明：始終一致的色溫

新MX63/MX63L工具顯微鏡配備了高強(qiáng)度白光LED光源，兼顧低功耗和長(zhǎng)壽命的優(yōu)點(diǎn)，而且其穩(wěn)定的色溫為可靠的圖像質(zhì)量和精確的色彩復(fù)現(xiàn)提供了保障。

功能性：適合所有晶園尺寸

新MX63/MX63L工具顯微鏡特別適用于半導(dǎo)體、平板顯示、印制電路板等行業(yè)的大尺寸樣品檢測(cè)。MX63工具顯微鏡可用于最D晶圓直徑200mm，MX63L可用于最D晶圓直徑300mm。此外，新顯微鏡還可以選配晶園搬送機(jī)，實(shí)現(xiàn)可靠、安全、高效的對(duì)晶圓正面和背面進(jìn)行檢測(cè)。

模塊化：全面可定制

新MX63/MX63L工具顯微鏡的模塊化設(shè)計(jì)讓檢測(cè)者能夠根據(jù)應(yīng)用需要選擇組件。兩款顯微鏡均按潔凈室應(yīng)用而設(shè)計(jì)，并符合SEMI S2/S8、CE和UL要求。所有電動(dòng)組件均安裝在屏蔽結(jié)構(gòu)內(nèi)，鏡架、鏡筒以及其他部件均經(jīng)過(guò)防靜電處理。

人性化：滿足人體工學(xué)的設(shè)計(jì)

新MX63/MX63L工具顯微鏡采用人體工學(xué)設(shè)計(jì)，可以快速設(shè)置調(diào)整和簡(jiǎn)易控制。更換物鏡以及調(diào)整孔徑光闌的控制位于顯微鏡前面較低的位置，因此用戶在使用過(guò)程中可始終保持透過(guò)目鏡觀察而無(wú)須松開(kāi)對(duì)焦旋鈕。電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)旋轉(zhuǎn)迅速，在縮短檢測(cè)間隔時(shí)間的同時(shí)還可讓操作者的手始終在晶圓下方，降低可能存在的污染風(fēng)險(xiǎn)。

憑借這些強(qiáng)大的觀察功能和簡(jiǎn)單的操作特性，MX63/MX63L工具顯微鏡能夠?qū)崿F(xiàn)快速高效的實(shí)現(xiàn)大尺寸樣品檢測(cè)。