價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類(lèi) | 微流控芯片系統(tǒng) |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè),石油 |
新一代曝光光刻機(jī)UV KUB 3
新一代曝光光刻機(jī)UV KUB 3是一款集成式桌面型紫外曝光光刻機(jī),其 采用 365nm 紫外 LED 冷光源以及高精密光學(xué)準(zhǔn)直系 統(tǒng),可實(shí)現(xiàn) 1um 的光刻精度和小于 2°的發(fā)散角。UV KUB 3采用開(kāi)放式樣品盤(pán),可以進(jìn)行不同模式的曝光 光刻,如軟接觸或硬接觸模式;同時(shí)配備了高精密 的位移臺(tái),輔以雙 CCD 成像系統(tǒng),可在 5 分鐘內(nèi)實(shí) 現(xiàn) 1um 的對(duì)位精度。
特色
- UV LED 光源
- 設(shè)計(jì)緊湊,操作簡(jiǎn)單
- 高精度 365nm +/- 5nm 單色光光源
- 可進(jìn)行軟接觸和硬接觸曝光光刻(含
- 壓力測(cè)量傳感器)
- 兼容目前市場(chǎng)上的全部光刻膠
- 分辨率: < 1µm
- 手柄自動(dòng)巡航對(duì)位,對(duì)位精度: 1µm
主要性能
- 365nm 單色 LED 光源,帶寬小于 10nm
- 圖像輔助的自動(dòng)巡航 PAD 操作對(duì)準(zhǔn)定位系統(tǒng)
- 采用高光強(qiáng) LED 冷光源,避免光源發(fā)熱引起的溫度
- 變化干擾,提高光刻面均勻性;
- 光源壽命大于 10000 小時(shí),減少維護(hù)及使用成本;
- 可調(diào)節(jié) UV 光強(qiáng)
- 友好的觸摸屏操作界面,可編程光刻工藝;
- 無(wú)需預(yù)熱,快速開(kāi)始進(jìn)入工作狀態(tài);
- 全封閉紫外曝光區(qū)域,保障操作人員的安全;
- 半自動(dòng)晶圓上下料系統(tǒng)
- 低功耗,節(jié)能環(huán)保
?
性能指標(biāo)
- zui小光刻尺寸 1µm
- 對(duì)位精度 1µm
- 紫外光源波長(zhǎng) 365nm +/- 5nm
- 光源光強(qiáng) 35mW/cm² +/- 10%
- 光刻區(qū)域工作溫度變化 < 1°C
- 工藝時(shí)間 (連續(xù)/非連續(xù)模式) From 1s to 1h
- 可保存光刻工藝數(shù)量 無(wú)限制
- 外形尺寸 475x480x515mm
- 總重量 55kg / 121lbs
- 觸摸屏尺寸 15.6” diagonal,color
- 供電電源 100V/240V –
- 50Hz/60Hz
- 功耗 180 Watts