前言：等離子清洗技術(shù)的應(yīng)用，起源于20世紀(jì)初。隨著高科技產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，其應(yīng)用越來越廣，目前已在眾多高科技領(lǐng)域中，居于關(guān)鍵技術(shù)的地位，等離子清洗技術(shù)對(duì)產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟(jì)和人類文明影響最大，*電子工業(yè)，尤其是半導(dǎo)體業(yè)與光電工業(yè)。

  據(jù)知道，太陽(yáng)能光伏行業(yè)對(duì)清潔生產(chǎn)技術(shù)都非常嚴(yán)苛。太陽(yáng)能極的硅片即使不要求達(dá)到電子級(jí)，但6個(gè)9的純度也是很高的，等離子清洗技術(shù)誕生后，在切片等過程中，為清洗硅片上或多或少的污染物，等離子清洗技術(shù)已經(jīng)成為經(jīng)常使用的方法之一。 等離子技術(shù)是一新興的領(lǐng)域，該領(lǐng)域結(jié)合等離子物理、等離子化學(xué)和氣固相界面的化學(xué)反應(yīng)。

01 等離子清洗技術(shù)處理太陽(yáng)能電池板接線盒

  在太陽(yáng)能電池板組件TPT背板粘接整流接線盒前采用AP800常壓等離子表面處理機(jī)，可使接線盒與背板粘接牢固度大幅提升，保證電池組件在高低溫等惡劣的自然環(huán)境下正常工作，延長(zhǎng)太陽(yáng)能電池板使用壽命。

02 等離子清洗技術(shù)處理電池硅片邊緣刻蝕

  微波等離子刻蝕機(jī)應(yīng)用在太陽(yáng)能電池硅片邊緣隔離及背部表面氮化物或PSG（磷硅酸鹽玻璃）去除，微波等離子系統(tǒng)具有RF射頻刻蝕系統(tǒng)不可比擬的高刻蝕速率，另一方面直接微波等離子體技術(shù)使電池片溫度保持在很低的水平從而避免產(chǎn)生熱應(yīng)力。

  等離子清洗已應(yīng)用于各種電子元件的制造，可以確信，沒有等離子清洗技術(shù)，就沒有今日這么發(fā)達(dá)的電子、資訊和通訊產(chǎn)業(yè)。此外，等離子清洗技術(shù)也應(yīng)用在光學(xué)工業(yè)、機(jī)械與航天工業(yè)、高分子工業(yè)、污染防治工業(yè)和量測(cè)工業(yè)上，而且是產(chǎn)品提升的關(guān)鍵技術(shù)，比如說光學(xué)元件的鍍膜、延長(zhǎng)模具或加工工具壽命的抗磨耗層，復(fù)合材料的中間層、織布或隱性鏡片的表面處理、微感測(cè)器的制造，超微機(jī)械的加工技術(shù)、人工關(guān)節(jié)、骨骼或心臟瓣膜的抗摩耗層等皆需等離子技術(shù)的進(jìn)步，才能開發(fā)完成。 

本章出自金鉑利萊，轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處