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Large Area Pulsed 大尺寸脈沖激光沉積系統(tǒng)

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北京正通遠(yuǎn)恒科技有限公司成立于2001年,是一家經(jīng)營歐美等國測(cè)試儀器和設(shè)備,并將技術(shù)引入國內(nèi)的科技服務(wù)型企業(yè).經(jīng)過十年的發(fā)展,公司在北京、上海、廣州、合肥均設(shè)有辦事處。

公司的主營儀器包括:分子相互作用分析儀器、表/界面分析測(cè)試儀器、半導(dǎo)體器件測(cè)試儀器、薄膜沉積與表征儀器等。

公司愿意成為深刻了解客戶心理、全面滿足客戶需求,以應(yīng)用為基礎(chǔ)的專業(yè)儀器設(shè)備供應(yīng)商、專有技術(shù)提供商,實(shí)現(xiàn)公司在行業(yè)內(nèi)的超常規(guī)發(fā)展。





產(chǎn)品主要涉及以下四個(gè)方面:1. 表面/界面2. 生物/藥物分子相互作用3. 界面/混凝土流變4. 薄膜沉積與表征

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,航天,綜合

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Neocera大尺寸PLD系統(tǒng)用于在各種襯底上沉積各種高質(zhì)量的薄膜,晶圓(wafer)直徑可達(dá)8 "(200毫米)?;D(zhuǎn)結(jié)合激光掃描提供整個(gè)晶圓區(qū)域的厚度均勻性。激光束掃描附件采用了獨(dú)\特的Neocera設(shè)計(jì),當(dāng)激光束掃描時(shí),可以在目標(biāo)上產(chǎn)生固定的激光通量(J/cm2)。當(dāng)激光束通過目標(biāo)表面掃描時(shí),激光束掃描使用獨(dú)\特的掃描程序。激光位置在目標(biāo)上的停留時(shí)間遵循逆速度程序,促進(jìn)了薄膜厚度的良好控制。用戶可以*控制掃描參數(shù)的必要改變,厚度輪廓取決于沉積壓力。


產(chǎn)品特點(diǎn)

•全自動(dòng)大尺寸PLD系統(tǒng)

•晶圓尺寸:4 "(100毫米),6 "(150毫米)和8 "(200毫米)直徑

•外延薄膜、多層異質(zhì)結(jié)構(gòu)和超晶格的沉積

•高溫下氧化膜沉積的氧相容性

•自動(dòng)激光掃描厚度均勻性


技術(shù)參數(shù)

1.襯底尺寸:(直徑)4 " (100mm),6 " (150mm)和8 " (200mn)

2.PLD腔室尺寸:18英寸直徑球體或圓柱體。

3.襯底加熱:850 ℃(4 "wafers)),750℃(6 "wafers),700℃(8" wafers)

4.目標(biāo)旋轉(zhuǎn): 直徑4 × 2"

5.厚度均勻性: ±5%或更好。

6.工業(yè)氣體: O2, N2, Ar, (MFC控制)

7.Loadlocks: 包括

8.自動(dòng)化: Windows 7, LabView 2013































































































































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