NS3600 激光三維表面輪廓儀
| 參考價(jià) | ￥ 800000 |
| 訂貨量 | ≥1 臺(tái) |
- 公司名稱 Nanoscope Systems lnc
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) NS3600
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/6/5 16:08:37
- 訪問(wèn)次數(shù) 3382
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,建材,航天,汽車,綜合 |
NS-3600是一種可靠的三維(3D)激光表面輪廓儀，通過(guò)快速光學(xué)掃描模塊和信號(hào)處理算法實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)共焦顯微圖像。在測(cè)量和檢測(cè)微觀三維結(jié)構(gòu)，如半導(dǎo)體晶片，F(xiàn)PD產(chǎn)品，MEMS設(shè)備，玻璃基板，材料表面等方面有著多種解決方案。
Features & Benefits（性能及優(yōu)勢(shì)）：
高分辨無(wú)損傷光學(xué)3D測(cè)量 自動(dòng)傾斜補(bǔ)償
實(shí)時(shí)共焦成像 簡(jiǎn)單的數(shù)據(jù)分析模式
多種光學(xué)變焦 雙Z掃描
大范圍拼接 半透明基材的特征檢測(cè)
實(shí)時(shí)CCD明場(chǎng)和共聚焦成像 無(wú)樣品準(zhǔn)備
Software (軟件）：
Application field（應(yīng)用領(lǐng)域）：
NS-3500是測(cè)量低維材料的有前途的解決方案。
可測(cè)量微米和亞微米結(jié)構(gòu)的高度，寬度，角度，面積和體積，例如
-半導(dǎo)體:IC圖形，凹凸高度，線圈高度，缺陷檢測(cè)，CMP工藝
- FPD產(chǎn)品:觸摸屏屏幕檢測(cè)，ITO圖案，LCD柱間距高度
- MEMS器件:結(jié)構(gòu)三維輪廓，表面粗糙度，MEMS圖形
-玻璃表面:薄膜太陽(yáng)能電池，太陽(yáng)能電池紋理，激光圖案
-材料研究:模具表面檢測(cè)，粗糙度，裂紋分析
Specifications（規(guī)格）：
?Model | Microscope NS-3600 | 備注 | ||||
物鏡倍率 | 10x | 20x | 50x | 100x | ||
觀察/ 測(cè)量范圍 | 水平 (H): μm | 1400 | 700 | 280 | 140 | |
垂直 (V): μm | 1050 | 525 | 210 | 105 | ||
WD: mm | 16.5 | 3.1 | 0.54 | 0.3 | ||
| 數(shù)值孔徑(N.A.) | 0.30 | 0.46 | 0.80 | 0.95 | ||
觀察/測(cè)量光學(xué)系統(tǒng) | 針孔共聚焦光學(xué)系統(tǒng) | |||||
高度測(cè)量 | 測(cè)量掃描范圍 | 10mm | ||||
顯示分辨率 | 0.001 μm | |||||
重復(fù)率 σ | 0.02 μm | 注1 | ||||
寬度測(cè)量 | 顯示分辨率 | 0.001 μm | ||||
重復(fù)率 3σ | 0.03 μm | 注 2 | ||||
幀記憶 | 像素 | 1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96 | ||||
單色圖像 | 12 bit | |||||
彩色圖像 | 8-bit for RGB each | |||||
高度測(cè)量 | 16 bit | |||||
幀速率 | 表面掃描 | 20 Hz to 160 Hz | ||||
線掃描 | ~8 kHz | |||||
激光接收元件 | PMT (光電倍增管) | |||||
激光 | 波長(zhǎng) | 638nm (2mW) | ||||
光學(xué)觀察照相機(jī) | 成像元件 | 彩色圖像 CCD 傳感器 | ||||
記錄分辨率 | 1296x966 | |||||
數(shù)據(jù)處理單元 | PC | |||||
電源 | 電源電壓 | 100 to 240 VAC, 50/60 Hz | ||||
電流消耗 | 500 VA max. | |||||
重量 | 顯微鏡 | 大約. ~50 kg (測(cè)量頭大約: ~12 kg) | ||||
控制器 | ~8 kg | |||||
隔振系統(tǒng) | 氣浮隔振 | Option | ||||
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