CT-BW燃燒-水洗
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 北京朗銘潤德光電科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2021/1/21 10:52:03
- 訪問次數(shù) 796
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,能源,電子 |
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每個模塊的廢氣總流量可達(dá)1,500slm
每個反應(yīng)腔有四個獨立的廢氣進(jìn)口
高達(dá)99.99%的處理效率(DRE)
經(jīng)客戶端測試,在處理沉積和蝕刻制程廢氣上有良好的處理效率
針對半導(dǎo)體EPI制程,特別設(shè)計CT-BW-EPI設(shè)備
燃燒反應(yīng)腔的水幕設(shè)計大幅降低了腐蝕及粉塵沉積的問題
每個模塊的廢氣總流量可達(dá)1,500slm
每個反應(yīng)腔有四個獨立的廢氣進(jìn)口
高達(dá)99.99%的處理效率(DRE)
經(jīng)客戶端測試,在處理沉積和蝕刻制程廢氣上有良好的處理效率
針對半導(dǎo)體EPI制程,特別設(shè)計CT-BW-EPI設(shè)備
燃燒反應(yīng)腔的水幕設(shè)計大幅降低了腐蝕及粉塵沉積的問題