品牌：ECM

型號：E-Chucks

ECM是一個擁有30多年成功的技術公司。公司具有一支創(chuàng)新型PVD，CVD，熱/室溫/低溫，離子注入，刻蝕等檢測隊伍。依靠完整的熱解決方案，包含加熱/冷卻基座/BSG整治線小型或大批量生產能力，通過高質量產品和生產工藝一致性，成為客戶滿意的生產單位。北京朗銘潤德光電有限公司作為ECM公司E-Chucks靜電夾持卡盤設備的代理，為中國的廣大客戶提供完善的技術支持和售后支持。

產品用途:靜電夾持卡盤基于電容技術同時可以整合基片的冷卻和加熱。用于PVD，CVD, 干法刻蝕，離子植入等設備。

適用襯底材料:硅，三五族化合物半導體和絕緣體等。

適用襯底尺寸: *大450mm直徑基片。

可根據(jù)客戶要求定制。

合作客戶部分名單:

Evatec、Lam、0xford、Sentech、Applied materia1s、A1cate1、Oerl1ikon、Acia system、SPTS、HMI、CAMECA、Po1yteknik、Samsung等