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納米壓印Nanonex高分辨率光刻/對(duì)準(zhǔn)器
- 公司名稱 上海跡亞國際商貿(mào)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2021/6/2 9:51:02
- 訪問次數(shù) 1338
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè) |
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納米壓印Nanonex高分辨率光刻/對(duì)準(zhǔn)器 Lumina系列為電子,光電,MEMS和許多其他應(yīng)用中的高分辨率,對(duì)準(zhǔn),接觸和接近光刻提供了高質(zhì)量,可靠且經(jīng)濟(jì)高效的解決方案。 它具有易于使用的界面,高精度的載物臺(tái),高性能的光學(xué)元件和較小的占地面積。
Nanonex Lumina-200納米壓印主要特點(diǎn)
高分辨率光刻
高精度對(duì)準(zhǔn)平臺(tái)
*的對(duì)準(zhǔn)光學(xué)
間隙控制
用戶友好的PC控制
占地面積小
具有成本效益的設(shè)計(jì)
背面對(duì)齊可選
應(yīng)用領(lǐng)域:半導(dǎo)體器件 *微機(jī)電系統(tǒng) *光電子學(xué) *高級(jí)包裝 *電力設(shè)備
納米壓印Nanonex高分辨率光刻/對(duì)準(zhǔn)器技術(shù)參數(shù)
手冊(cè)X-Y-?
帶稱重傳感器的電動(dòng)Z
移動(dòng)范圍: X和Y:1英寸
?:10度
Z:0.25英寸
掩膜加載能力
5”口罩標(biāo)準(zhǔn)
其他尺寸可選
基板裝載能力
4”標(biāo)準(zhǔn)
其他尺寸可選
對(duì)準(zhǔn) 模式:接近、柔和、硬
對(duì)準(zhǔn)光學(xué)
分割欄 5倍物鏡,1到7倍變焦
2個(gè)獨(dú)立的手動(dòng)X,Y,Z顯微鏡移動(dòng) 精細(xì)粗調(diào)
通過CCD相機(jī)成像
曝光系統(tǒng)
紫外線:汞燈,帶有可選的G線或I線過濾器
紫外線燈功率:500瓦
紫外線均勻照射
電動(dòng)紫外線燈移動(dòng)
具有Microsoft Windows的基于PC的控制計(jì)算機(jī)
用戶友好的控制軟件 PC控制的CCD視頻
紫外線燈曝光由電腦控制
占地面積:31英寸乘44英寸(780毫米乘1110毫米)