化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>光學(xué)儀器及設(shè)備>光學(xué)成像設(shè)備>其它光學(xué)成像設(shè)備>FPDONG-MAPLE-express 高速光致發(fā)光掃描成像儀
FPDONG-MAPLE-express 高速光致發(fā)光掃描成像儀
- 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) FPDONG-MAPLE-express
- 產(chǎn)地 https://www.felles.cn/guangzhifaguang/maple.html
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/7/11 17:10:28
- 訪問次數(shù) 514
聯(lián)系方式:華小姐021-22799028 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
高速光致發(fā)光掃描成像儀是為L(zhǎng)ED光致發(fā)光成像繪圖設(shè)計(jì)的工藝級(jí)光致發(fā)光mapping繪圖系統(tǒng),具有較高的光致發(fā)光mapping繪圖成像速度。
高速光致發(fā)光掃描成像儀對(duì)應(yīng)2英寸晶圓按2mm/步掃描,30秒即可完成掃描mapping成像。用戶可以選擇多種光譜儀器控制功能,多個(gè)激光集成支持功能,光致發(fā)光的同時(shí)測(cè)量與分析,薄膜厚度測(cè)量,反射率測(cè)量,雙PL峰偏析,接收器編輯,邊緣剔除.用戶控制步進(jìn)分辨率0.1/0.5/1.0/2.0/4.0mm。
高速光致發(fā)光掃描成像儀采用安靜的電動(dòng)位移臺(tái),高靈敏度低噪音CCD探測(cè)器,自動(dòng)監(jiān)測(cè)激光功率,完成操作記錄功能,還可以采用FFT濾波去除差錯(cuò),為用戶帶來的操作體驗(yàn)。
高速光致發(fā)光掃描成像儀應(yīng)用
LED制造質(zhì)量檢測(cè)
LD制造質(zhì)量控制
Epi-晶圓自動(dòng)PL光致發(fā)光掃描繪圖成像Mapping
III-V材料光致發(fā)光分析
薄膜厚度測(cè)量
熒光測(cè)量分析
通用光致發(fā)光分析
高速光致發(fā)光掃描成像儀規(guī)格參數(shù)
光譜儀:200-1100nm,低噪音1024像素(可選2048像素)
分辨率:3.5nm@100um狹縫 600gr/mm,1024像素
可選配光譜儀:900-1700nm, 2nm@10um狹縫150gr/mm
激光器:標(biāo)配375nm,可選波長(zhǎng)266nm,325nm,405nm,442nm,532nm,658nm,785nm,1064nm
可選配:薄膜厚度測(cè)量功能
高速伺服電動(dòng)位移臺(tái):手動(dòng)加載樣品盤,XY二軸位移,步進(jìn)分辨率0.5/1.0/1.5/2.0mm
支持晶圓尺寸:2’‘,4’‘,6’‘,可選配8’‘
掃描mapping速度:2''晶圓<30秒@2mm步進(jìn),5ms曝光。
軟件分析參數(shù):峰值波長(zhǎng),優(yōu)勢(shì)波長(zhǎng),峰值強(qiáng)度,FWHM,積分強(qiáng)度,可選配厚度和反射率測(cè)量功能
光致發(fā)光精度:<1nm +/-0.5nm
尺寸:760W x 450H x 560D
重量:<35kg
真空:50-60cm/Hg
電源要求:220V
潔凈度要求:~10000級(jí)
工作溫度:15~35攝氏度
濕度:<85%R.H非冷凝