在半導(dǎo)體晶圓制造，平板，太陽(yáng)能電池板和LCD制造設(shè)備中的各種機(jī)電設(shè)備對(duì)其潤(rùn)滑劑的要求越來(lái)越高。今天的潤(rùn)滑劑必須能夠處理更高的負(fù)載，更高的溫度，延長(zhǎng)部件的使用壽命，并提高生產(chǎn)率，同時(shí)消除或減少空氣中的分子污染或釋放可能使高速檢測(cè)系統(tǒng)中的光學(xué)器件霧化甚至污染晶片的蒸汽。

   比瑟奴T.GREASE-58/HS 超真空潤(rùn)滑脂的出現(xiàn)，旨在改善高速軸承，運(yùn)動(dòng)控制直線導(dǎo)軌，真空泵以及半導(dǎo)體制造設(shè)備中使用的其他組件的性能并延長(zhǎng)其使用壽命，這些設(shè)備專為沉積等工藝而設(shè)計(jì)，離子注入，蝕刻，光刻和晶片測(cè)量和檢查。在半導(dǎo)體芯片，激光二極管和晶體等低溫測(cè)試中很重要，T.GREASE-58/HS真空潤(rùn)滑脂用于改善樣本船和恒冷器冷頭之間的熱接觸。這種低溫?zé)峤佑|潤(rùn)滑脂確保樣品在盡可能*的溫度下提高測(cè)試靈敏度。

    T.GREASE-58/HS擁有在低溫條件下提高熱接觸的良好記錄。它對(duì)于冷卻系統(tǒng)耦合超導(dǎo)磁體，低溫恒溫器，溫度傳感器或任何須盡快達(dá)到低溫冷凍的系統(tǒng)很重要。低磁化率也使其成為超導(dǎo)體制造應(yīng)用的理想選擇。雖然速度，均勻性和清潔度使自動(dòng)裝配設(shè)備成為半導(dǎo)體制造的標(biāo)準(zhǔn)，但他們也提出了一個(gè)關(guān)于潤(rùn)滑的難題。 油和潤(rùn)滑脂確實(shí)可以幫助生產(chǎn)線上的機(jī)器人，拾取和放置站，輸送機(jī)，閥門(mén)，開(kāi)關(guān)和其他設(shè)備運(yùn)行更好，使用壽命更長(zhǎng)。 但它們也會(huì)導(dǎo)致空氣中的分子污染，或者更糟糕的是，它會(huì)釋放蒸汽，使高速檢測(cè)系統(tǒng)中的光學(xué)系統(tǒng)霧化，甚至污染晶圓。然而，可以小化或消除與潤(rùn)滑劑相關(guān)的問(wèn)題。 

   50多年來(lái)，比瑟奴一直與歐洲宇航局和商業(yè)航空航天業(yè)的*合作，為關(guān)鍵任務(wù)組件提供潤(rùn)滑劑服務(wù)，同時(shí)解決除氣，污染等問(wèn)題。除氣會(huì)降低潤(rùn)滑劑的有效性，并可能污染附近的部件。公司經(jīng)過(guò)多年不懈的努力，*開(kāi)發(fā)出多款真空潤(rùn)滑脂/超真空潤(rùn)滑脂、真空密封脂。比瑟奴超真空潤(rùn)滑脂可在真空度達(dá)10^-12毫巴的超真空環(huán)境中正常工作。我們的產(chǎn)品擁有特殊配方，技術(shù)。能夠長(zhǎng)期保持柔軟及柔順，不易變質(zhì)或變硬，低蒸氣壓，從而實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)的工作維護(hù)周期。目前，大部分研究在其他行業(yè)得到了回報(bào)，其中PSEINU正在應(yīng)用這項(xiàng)技術(shù)設(shè)計(jì)潤(rùn)滑劑，用于潔凈室，實(shí)驗(yàn)室和半導(dǎo)體制造設(shè)施的組件和子組件，包括真空和非真空應(yīng)用。真空應(yīng)用領(lǐng)域一般分為玻璃廠真空鍍膜線設(shè)備，真空爐，采用比瑟奴T.GREASE-55 通用型真空潤(rùn)滑脂，在自動(dòng)化、運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng)、真空高低溫步進(jìn)電機(jī)，真空防輻射步進(jìn)電機(jī)，真空高低溫減速機(jī)，真空高低溫位移臺(tái)絲桿，真空防輻射位移臺(tái)，真空高低溫防輻射轉(zhuǎn)臺(tái)滑軌絲桿，真空離子規(guī)及控制器，真空線纜以及驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)等條件下采用比瑟奴T.GREASE-59/BG超真空潤(rùn)滑脂和T.GREASE-55通用型真空潤(rùn)滑脂。在航空航天以及太空領(lǐng)域如：航天器、人造衛(wèi)星、火箭系統(tǒng)等，則采用比瑟奴T.GREASE-56NL 超真空低溫潤(rùn)滑脂，并作為低溫真空潤(rùn)滑脂得到廣泛認(rèn)可和推薦。這種低溫潤(rùn)滑脂是專門(mén)配制用于在低溫下表現(xiàn)出無(wú)裂紋性能特點(diǎn)，并且承受在低溫 -265°C 和 +80°C 之間溫度交替環(huán)境中。有能力填充臨近表面的微孔，所以改善了熱接觸。無(wú)硅真空潤(rùn)滑脂相關(guān)的污染問(wèn)題,例如‘蠕變’或者‘滯留’在 20°C 蒸氣壓力為 6 x 10^-10 托有內(nèi)置的輻射抗性具有強(qiáng)大的‘吸附’能力，其可吸收在金屬和玻璃表面潛在的有害潤(rùn)滑脂和化學(xué)雜質(zhì)易溶于碳?xì)浠衔锶軇?，方便清潔除垢?/span>

    例如：航空航天工業(yè)幾十年來(lái)一直致力于為關(guān)鍵任務(wù)部件提供合格的潤(rùn)滑油 - 解決潤(rùn)滑劑除氣，污染和饑餓等問(wèn)題。 大部分研究現(xiàn)已成功應(yīng)用于設(shè)計(jì)潔凈室，實(shí)驗(yàn)室和半導(dǎo)體制造設(shè)施中的子組件潤(rùn)滑劑。潤(rùn)滑劑減少摩擦，相鄰材料的法向力乘以摩擦系數(shù)（μ），這是在剪切和壓縮（μ= S / P）下較軟材料對(duì)塑性變形的抵抗力。在接觸表面之間添加潤(rùn)滑劑可降低摩擦系數(shù)，從而減少部件磨損并終延長(zhǎng)使用壽命。固體和液體可用作潤(rùn)滑劑。固體潤(rùn)滑劑包括石墨，二硫化鉬和聚四氟乙烯（PTFE）粉末，容易磨損。通常，所有合成油都能承受更寬的溫度，并且與天然的同類產(chǎn)品在化學(xué)上更均勻。特定的合成油具有額外的優(yōu)點(diǎn)，將在下面討論。通常，油被用于跳蚤動(dòng)力裝置，其中即使是輕的潤(rùn)滑脂也不會(huì)克服可用的扭矩。潤(rùn)滑脂落在固體和液體潤(rùn)滑劑之間。

    半固體，是一種用增稠劑固定的油。與需要緊密密封的儲(chǔ)存器以防止遷移的油不同，潤(rùn)滑脂依賴于肥皂，粘土或固體潤(rùn)滑劑增稠劑可將潤(rùn)滑液保持在需要的地方。為任何應(yīng)用選擇合適的潤(rùn)滑劑需要仔細(xì)考慮其每種成分，從基礎(chǔ)油開(kāi)始，這是任何潤(rùn)滑劑的*百分比組成。合成基礎(chǔ)油化學(xué)的一般類別包括：合成聚α-烯烴（PAO），合成酯，硅氧烷，多烷基化環(huán)戊烷（MAC），聚苯醚（PPE）和全氟聚醚（PFPE）。每個(gè)都為潔凈室和半導(dǎo)體制造帶來(lái)了不同的優(yōu)勢(shì)。 PAO通常是成本*的替代方案。它們具有良好的抗磨特性，并且具有使用傳統(tǒng)添加劑的能力。但是，在較高的溫度或小的除氣是至關(guān)重要的情況下，PAO并不總是如此達(dá)到。

    合成酯和有機(jī)硅在性能和成本方面均優(yōu)于PAO。因?yàn)轷ヮ惥哂懈邩O性，在室溫下確定高分子量潤(rùn)滑劑的蒸氣壓是不實(shí)際的，因?yàn)楹哿砍龤鈱⒎浅ｋy以測(cè)量。因此，Langmuir方程用于計(jì)算幾個(gè)高溫下的蒸汽壓力，這些值用于推算25°C時(shí)的蒸汽壓力。它們本質(zhì)上是良好的邊界潤(rùn)滑劑。與PAO相比，它們具有更低的蒸氣壓和更高的熱氧化穩(wěn)定性。但是，酯應(yīng)該引起警告。它們與許多商業(yè)聚合物和彈性體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，并且它們?cè)谒?，堿和某些金屬存在下易于化學(xué)分解。在任何一種情況下，潤(rùn)滑劑性能和組件都會(huì)嚴(yán)重受損。有機(jī)硅代表了比PAO和酯顯著改善的性能。它們具有更寬的使用溫度范圍，優(yōu)異的低揮發(fā)性特性和良好的熱氧化穩(wěn)定性。然而，它們是非常“可壓縮的”分子。雖然這種特性在潤(rùn)滑塑料和輕負(fù)載金屬方面沒(méi)有問(wèn)題，但是在更高負(fù)載的金屬對(duì)金屬應(yīng)用中，有機(jī)硅不能提供與酯或PAO相同的耐磨性。MAC，PPE和PFPE--所有高分子量材料 - 代表了合成化學(xué)潤(rùn)滑的*發(fā)展。雖然它們的價(jià)格相應(yīng)較高，但它們*的性能使它們非常適合半導(dǎo)體制造的需求。 MAC表現(xiàn)出極低的蒸氣壓，可以通過(guò)特定應(yīng)用的添加劑輕松強(qiáng)化，并提供良好的熱氧化穩(wěn)定性和化學(xué)相容性。 PPE在潤(rùn)滑電連接器方面具有悠久的歷史。它們具有出色的蒸汽壓力特性和*的優(yōu)勢(shì) - 增強(qiáng)輻射抗性的標(biāo)準(zhǔn) - 比其他合成化學(xué)品好一到兩個(gè)數(shù)量級(jí)。雖然在邊界潤(rùn)滑條件下不如其他一些合成化學(xué)品那樣堅(jiān)固，但PFPE在真空關(guān)鍵應(yīng)用中已經(jīng)*，特別是當(dāng)?shù)驼魵鈮?，寬溫度，化學(xué)惰性和材料兼容性很重要時(shí)。

     雖然每種潤(rùn)滑劑的設(shè)計(jì)應(yīng)滿足溫度，負(fù)載，扭矩和其他特定設(shè)備的要求，但真空或潔凈室應(yīng)用的潤(rùn)滑劑也必須滿足剛性蒸汽壓力標(biāo)準(zhǔn)。蒸氣壓是由在液體表面正上方的假想表面上進(jìn)入氣相的分子施加的每單位面積的力。在潤(rùn)滑設(shè)計(jì)中，該特性在比較不同油或其他潤(rùn)滑劑組分變得易揮發(fā)的趨勢(shì)時(shí)非常有用，這增加了蒸發(fā)損失造成污染的可能性。因此，蒸汽壓越低，潤(rùn)滑劑越好。在真空中測(cè)量的潤(rùn)滑劑的蒸氣壓可以使用Langmuir方程式確定：P=17.14 G（T / M）1/2，其中P是以Torr為單位的蒸氣壓，G是除了選擇低蒸氣壓和高分子量的基礎(chǔ)油外，顆粒污染控制是另一個(gè)重要的潤(rùn)滑油標(biāo)準(zhǔn)。真空和潔凈室應(yīng)用。在潤(rùn)滑劑的制造過(guò)程中，灰塵，污垢，甚至不適當(dāng)分散的增稠劑都會(huì)夾帶在油或油脂中。例如，在滾動(dòng)軸承中，顆?；蚋骄鄣脑龀韯?huì)破壞將球與滾道，疤痕球和滾道分開(kāi)的彈性動(dòng)力薄膜，從而損害性能并縮短操作壽命。事實(shí)上，隨著材料科學(xué)的進(jìn)步，大多數(shù)軸承都失敗了，蒸發(fā)速率，單位為克/平方厘米/秒，T是以°K為單位的溫度，M是所討論材料的分子量。在設(shè)計(jì)潤(rùn)滑劑時(shí)，要潤(rùn)滑的裝置的表面積（G因子）和操作環(huán)境的溫度都是允許的。因此，上述等式強(qiáng)調(diào)了分子量的重要性，分子量是選擇基礎(chǔ)油的一個(gè)變量，用于設(shè)計(jì)低蒸汽壓潤(rùn)滑劑。低釋氣的*候選物是具有高分子量的基礎(chǔ)油- MAC，PPE和PFPE等材料。此外，由于基礎(chǔ)油中的每個(gè)分子可具有略微不同的分子量，因此更好地縮小分子量范圍。通過(guò)特殊的蒸餾工藝，可以在潤(rùn)滑劑制造過(guò)程中去除較輕的材料，而不是等待它們?cè)诠ぷ髦袚]發(fā)和污染。值得注意的是，雖然大多數(shù)“真空潤(rùn)滑劑”供應(yīng)商都了蒸汽壓力數(shù)據(jù)，但這些數(shù)據(jù)很少是測(cè)量每批潤(rùn)滑劑的結(jié)果。如果沒(méi)有嚴(yán)密的控制，兩批相同潤(rùn)滑劑的蒸汽壓可能會(huì)有所不同，幾個(gè)數(shù)量級(jí)。因此，為了*地利用蒸汽壓力數(shù)據(jù)來(lái)確定潤(rùn)滑劑的排氣潛力，應(yīng)該進(jìn)行每批次的分析。通常，任何低于超潔凈潤(rùn)滑劑的物質(zhì)都會(huì)影響設(shè)備的準(zhǔn)確性，可重復(fù)性和使用壽命。超濾可以改善這些問(wèn)題。一種先進(jìn)的生產(chǎn)前和生產(chǎn)后過(guò)濾過(guò)程，超濾使?jié)櫥械脑龀韯┚鶆蚧?，去除油中小?微米的顆粒物和油脂中35微米的顆粒物（參考，一粒沙粒約為650微米）。由于各種*標(biāo)準(zhǔn)定義了潤(rùn)滑劑的清潔度，超濾至少會(huì)告訴用戶潤(rùn)滑劑中顆粒的相對(duì)尺寸，并且該信息可用于預(yù)先確定這是否對(duì)操作有害。半導(dǎo)體工業(yè)包含大量機(jī)電設(shè)備，其性能和使用壽命取決于選擇合適的潤(rùn)滑劑。沒(méi)有一種化學(xué)能滿足所有需求。然而，在各種基礎(chǔ)油化學(xué)品，膠凝劑和添加劑中的某些地方，與在真空和潔凈室環(huán)境中設(shè)計(jì)和制造潤(rùn)滑劑的方法相結(jié)合半導(dǎo)體制造環(huán)境中的每個(gè)組件都存在理想的真空潤(rùn)滑劑。