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EVG 510-晶圓鍵合機

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岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司(Dymek Company Ltd ,下面簡稱岱美)成立于1989年,是一間擁有多年經(jīng)驗的高科技設(shè)備分銷商,主要為數(shù)據(jù)存儲、半導(dǎo)體、光通訊、高校及研發(fā)中心提供各類測量設(shè)備、工序設(shè)備以及相應(yīng)的技術(shù)支持,并與一些重要的客戶建立了長期合作的關(guān)系。自1989年創(chuàng)立至今,岱美的產(chǎn)品以及各類服務(wù)、解決方案廣泛地運用于中國香港,中國大陸(上海、東莞、北京),中國臺灣,泰國,菲律賓,馬來西亞,越南及新加坡等地區(qū)。


岱美在中國大陸地區(qū)主要銷售或提供技術(shù)支持的產(chǎn)品:

晶圓鍵合機、納米壓印設(shè)備、紫外光刻機、涂膠顯影機、硅片清洗機、超薄晶圓處理設(shè)備、光學三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測、非接觸式光學三坐標測量儀、薄膜厚度檢測儀、主動及被動式防震臺系統(tǒng)、應(yīng)力檢測儀、電容式位移傳感器、定心儀等。


岱美重要合作伙伴包括有:

Thetametrisis, EVG, FSM, Opto-Alignment, Herz, PLSINTEC, Film Sense, Reditech, Lazin, Delcom, Microsense, Shb, boffotto, RTEC, Kosaka, Nanotronics, MTInc, 4D, Daeil, Microphysics,

n&k Technology, First Nano, Schmitt, LESCO, Otsuka, STI, Kurashiki, Ryokosha, SURAGUS, Westbond...


如有需要,請聯(lián)系我們,了解我們?nèi)绾伍_始與您之間的合作,實現(xiàn)您的企業(yè)或者組織機構(gòu)長期發(fā)展的目標。




膜厚儀,輪廓儀,EVG鍵合機,EVG光刻機,HERZ隔震臺,Microsense電容式位移傳感器

  EVG 510-晶圓鍵合機是用于研發(fā)或小批量生產(chǎn)的晶圓鍵合系統(tǒng)-與大批量生產(chǎn)設(shè)備*兼容。
  一、簡介
  EVG鍵合機EVG510(晶圓鍵合機)是一種高度靈活的晶圓鍵合系統(tǒng),可以處理從碎片到200 mm的基板尺寸。該工具支持所有常見的晶圓鍵合工藝,例如陽極,玻璃粉,焊料,共晶,瞬態(tài)液相和直接法。易于使用的鍵合腔室和工具設(shè)計允許對不同的晶圓尺寸和工藝進行快速便捷的重新工具化,轉(zhuǎn)換時間不到5分鐘。(晶圓鍵合機)這種多功能性非常適合大學,研發(fā)機構(gòu)或小批量生產(chǎn)應(yīng)用。EVG大批量制造工具(例如EVG GEMINI)上的鍵合室設(shè)計相同,鍵合程序易于轉(zhuǎn)移,可輕松擴大生產(chǎn)規(guī)模。
  EVG 510-晶圓鍵合機二、EVG鍵合機EVG510特征
  *的壓力和溫度均勻性
  兼容EVG機械和光學對準器
  靈活的設(shè)計和配置,用于研究和試生產(chǎn)
  將單芯片形成晶圓
  各種工藝(共晶,焊料,TLP,直接鍵合)
  可選的渦輪泵(<1E-5 mbar)
  可升級用于陽極鍵合
  開室設(shè)計,易于轉(zhuǎn)換和維護
  生產(chǎn)兼容
  高通量,具有快速加熱和泵送規(guī)格
  通過自動楔形補償實現(xiàn)高產(chǎn)量
  開室設(shè)計,可快速轉(zhuǎn)換和維護
  200 mm鍵合系統(tǒng)的小占地面積:0.8 m 2
  程序與EVG的大批量生產(chǎn)鍵合系統(tǒng)*兼容
  三、EVG鍵合機EVG510技術(shù)數(shù)據(jù)
  大接觸力:10、20、60 kN
  加熱器尺寸:150毫米、200毫米
  小基板尺寸:單芯片、100毫米
  真空環(huán)境:標準:0.1毫巴(可選:1E-5 mbar)




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