DC111 日本三明電子sanmei三維抗蝕劑涂布裝置
- 公司名稱 秋山科技（東莞）有限公司
- 品牌
- 型號 DC111
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/9/6 17:50:54
- 訪問次數(shù) 1224
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,食品,建材,電子,制藥 |
日本三明電子sanmei三維抗蝕劑涂布裝置DC111
設(shè)備是為MEMS器件和各種半導(dǎo)體研究開發(fā)的噴涂機(jī)。
1，支持MEMS器件
2，在不平坦的表面上均勻涂膜厚度
3，通孔和溝槽填充應(yīng)用
4，配有加熱器內(nèi)置的樣品架。樣品溫度gao可控制在100°C。
5，伺服電機(jī)使用我們的“ Si-servo”，它具有低振動，低熱量產(chǎn)生和高精度的特點(diǎn)。
6，特殊規(guī)格也可提供。
特征
1.可以進(jìn)行高精度，均勻的膜厚涂布?
使用可以制成微粒的噴嘴，即使在常規(guī)旋涂器難以涂覆的區(qū)域，例如基材的傾斜表面，梯形和直角頂點(diǎn)，也可以形成均勻的膜。
另外，可以將內(nèi)嵌的抗蝕劑施加到微調(diào)器難以實(shí)現(xiàn)的空腔，通孔和溝槽結(jié)構(gòu)上。
適用的膜厚從旋轉(zhuǎn)器級薄膜到超厚膜。膜厚度可以為1μm至600μm。（取決于化學(xué)性質(zhì)。）
2.可以使用多種化學(xué)溶液
它支持AZ電子材料的AZ-P4000系列，Kayak Microchem Co.的SU8，KMPR系列等，
以及苯并環(huán)丁烯樹脂（BCB）和各種聚合物。
也可以使用高粘度化學(xué)品。（取決于化學(xué)性質(zhì)。）
3.減少化學(xué)藥品的浪費(fèi)
由于它被涂到小的必要表面上，因此不會浪費(fèi)化學(xué)液體，例如旋涂。
另外，由于注射器被放置在噴霧單元附近，因此藥液管線中的廢物少。
日本三明電子sanmei三維抗蝕劑涂布裝置DC111
技術(shù)指標(biāo) 基本規(guī)格
| 項(xiàng)目 | 規(guī)范 |
|---|---|
| 設(shè)備*名稱 | DC111 |
| 噴涂機(jī) | |
| 格式 | 噴嘴移動/樣品固定噴涂方法 |
| 樣品臺尺寸 | DC111：220×220mm□ |
| 噴嘴移動范圍 | DC111：垂直和水平300毫米 |
| 噴嘴移動速度 | 10-300毫米/秒 |
| 化學(xué)品體積控制系統(tǒng) | 通過化學(xué)空氣進(jìn)料和微針 |
| 顆粒大小 | 大約5-15μm（取決于所用的流體） |
效用
| 項(xiàng)目 | 規(guī)范 |
|---|---|
| 清潔干燥的空氣 | 5Kg / cm 2（≒0.5Mpa）15升/分鐘以上 （氣管連接口Φ6mm一觸式接頭） |
| 電源供應(yīng) | DC111：1ΦAC100V 1800瓦 |
| 排氣 | 外部排氣量2300升/分鐘 （連接管直徑Φ100mm） |
外形尺寸和重量
| 項(xiàng)目 | 內(nèi)容 |
|---|---|
| 身體尺寸 | DC111：1000 x 650 x 680毫米（高x闊x深） （不包括突起） |
| 重量 | DC111：100公斤 |
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