Firebird 全自動原子層沉積系統(tǒng)(ALD)
- 公司名稱 香港電子器材有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 Firebird
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2020/8/27 16:59:24
- 訪問次數(shù) 464
聯(lián)系我們時(shí)請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
美國普林斯頓CCD、光譜儀,加拿大Sciencetech太陽能模擬器、BNC延遲脈沖器、Gentec光電探測器、海洋光學(xué)光譜產(chǎn)品、半導(dǎo)體前道產(chǎn)品、Crystalaser激光器、EOS紅外探測器、半導(dǎo)體后道產(chǎn)品
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),電子,制藥 |
Veeco(之前稱之為Cambridge Nanotech)已經(jīng)有15年以上的ALD研發(fā)生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)。2003年Cambridge Nanotech成立于哈佛大學(xué),05年搬到Boston并生產(chǎn)出Thermal ALD - Savannah, 之后生產(chǎn)出Plasam ALD - Fuji、批量生產(chǎn)ALD-Phoenix。2017年被Veeco收購,并更新了Batch HVM ALD - Firebird。至今為止,Veeco在ALD設(shè)備已有15年多的經(jīng)驗(yàn),已安裝五百多臺ALD設(shè)備。
Firebird Batch Thermal ALD System
?方式: Thermal batch ALD
優(yōu)勢:*自動化的批量生產(chǎn)系統(tǒng),**生產(chǎn)能力(每月多40000片),ZD的成本,ZG的產(chǎn)量,極優(yōu)的一致性針對脆弱/溫度敏感的襯底解決方案,包括LNO/LTO/玻璃模塊化熱管理,以實(shí)現(xiàn)**工藝靈活性和產(chǎn)量
薄膜: 氧化物薄膜,包含封裝層、光學(xué)涂層氧化物薄膜,包含封裝層、光學(xué)涂層
反應(yīng)腔體大小: 無縫晶片尺寸轉(zhuǎn)換能力高達(dá)300mm