等離子清洗機(jī)- 全新*等離子體清洗系統(tǒng)，去除碳?xì)浠衔飳?duì)TEM和SEM樣本載臺(tái)或樣品的污染。Solarus是新一代等離子系統(tǒng)，其改造的新概念和zei新技術(shù)令它具有更佳的性能，操作簡(jiǎn)便和良好的清洗效果。與市面上其他任何等離子清洗體系統(tǒng)相比，Solarus能提供zei有效的清洗效果。

等離子清洗機(jī)具有明確的區(qū)別特點(diǎn)：

1. 化學(xué)氣體H2/O2（申請(qǐng)）。 這一*優(yōu)勢(shì)，化學(xué)清洗時(shí)能減少濺射損傷所有樣品，甚至可以清洗多孔碳膜。與傳統(tǒng)Ar/O2氣體清洗相比，使用H2/O2氣體清洗還可以進(jìn)一步延長(zhǎng)樣品的冷凍狀態(tài)保持時(shí)間。

2. 交互式觸摸屏提供預(yù)先編程的氣體配比，優(yōu)化工藝參數(shù)，具有更好的一致性和可重復(fù)性。

3. 實(shí)時(shí)RF自動(dòng)匹配和可變RF電源(10W-65W) 能確保在任何清洗條件下，提供zei適宜的等離子體功率，損壞zei小。

4. 質(zhì)量流量控制器(MFC)提供準(zhǔn)確的氣體控制量，使等離子體清洗機(jī)性能*穩(wěn)定，具有H2, O2和 Ar三個(gè)獨(dú)立的組分通道。

5. 通過前面兩個(gè)插口多功能腔體能接受兩個(gè)透射電鏡樣品桿，同時(shí)打開頂部的蓋子能裝入多種掃描樣品。

6. 渦輪泵系統(tǒng)不停運(yùn)行使整體循環(huán)速度提高幾倍。 泵 - 50秒 VS競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的3分鐘；通風(fēng) - 5秒VS競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的6分鐘。

7. 多語言系統(tǒng)操作指令包括英語、德語、法語、中文、韓語、日語。

Solarus*的設(shè)計(jì)提供更好的性能和更高的生產(chǎn)量：

1. 改進(jìn)溫和清潔，沒有濺射；
2. 優(yōu)異的重復(fù)性；
3. 清潔參數(shù)適應(yīng)性更多，可適用于更多種類的材料；
4. 更快的清洗速率使得其有更高的清洗數(shù)量。

等離子體清洗機(jī)的優(yōu)點(diǎn)：
- 增強(qiáng)成像能力(低電壓)
- 化學(xué)微量分析時(shí)提高精度
- EDX和EBSD 有更長(zhǎng)時(shí)間的讀取和獲取次數(shù)

STEM和EELS分析必須使用較小尺寸探針