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壓印機. UV納米壓印機

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上海昊量光電設(shè)備有限公司  
Aunion Tech Co., Ltd
專業(yè)源自專注  專注成就未來

自2008年成立以來,昊量光電專注于光電領(lǐng)域的技術(shù)服務(wù)與產(chǎn)品經(jīng)銷,致力于引進(jìn)guo外*先進(jìn)性與創(chuàng)新性的光電技術(shù)與可靠產(chǎn)品,為國內(nèi)Z前沿的科研與工業(yè)領(lǐng)域提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù),助力中國智造與中國創(chuàng)造! 目前,昊量光電已經(jīng)與來自美國、歐洲、日本的多家光電產(chǎn)品制造商建立了緊密的合作關(guān)系。其代理品牌均處于相關(guān)領(lǐng)域的發(fā)展前沿,產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測量設(shè)備、精密光學(xué)元件等,所涉足的領(lǐng)域涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究與國防等。

昊量光電堅持“專業(yè)源自專注,專注成就未來”的經(jīng)營理念。近年來,我們專注于前沿的細(xì)分市場,為量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、精密加工、先進(jìn)激光制造等領(lǐng)域的客戶提供系統(tǒng)解決方案。

作為一家以技術(shù)溝通與技術(shù)服務(wù)見長的高科技企業(yè),我們所有的銷售與技術(shù)服務(wù)團(tuán)隊成員都具有理工科方面的專業(yè)背景,并在公司接受相關(guān)領(lǐng)域的專業(yè)培訓(xùn),在售前技術(shù)溝通、售后產(chǎn)品安裝培訓(xùn)、產(chǎn)品問題解決、軟硬件增值服務(wù)等方面為客戶提供更加專業(yè)化的服務(wù)!我們專業(yè)高效的商務(wù)與物流部門憑借多年積累的貿(mào)易經(jīng)驗與規(guī)范化的制度流程,保障每一筆訂貨準(zhǔn)時安全到達(dá)目的地,免除客戶的后顧之憂!

秉承誠信、高效、創(chuàng)新、共贏的核心價值觀,昊量光電堅持以誠信為基石,憑借高效的運營機制和勇于創(chuàng)新的探索精神為我們的客戶與與合作伙伴不斷創(chuàng)造價值,實現(xiàn)各方共贏!

立足于光電產(chǎn)業(yè),昊量光電始終堅持價值創(chuàng)造與創(chuàng)新,贏得客戶與合作伙伴的認(rèn)可,不斷拓展業(yè)務(wù)領(lǐng)域的新邊疆,立志打造的代理服務(wù)品牌!

 

激光器調(diào)制器,激光測量加工設(shè)備,光學(xué)部件,光譜儀,光纖器件,晶體,精密定位系統(tǒng)掃描系統(tǒng),探測器光子計數(shù)器,專用實驗設(shè)備,相機

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),電子,航天,綜合

UV納米壓印機

納米壓印技術(shù)是上世紀(jì)90年代Stephen Y Chou,針對傳統(tǒng)光刻受波長限制提出的類似于模板刻印的一種技術(shù)。它的原理是:將具有納米結(jié)構(gòu)的模板通過一定壓力,壓入加熱的熔融的高分子薄膜內(nèi),待高分子材料冷卻,納米結(jié)構(gòu)定型,移去模板,然后再通過等離子體刻蝕等傳統(tǒng)的微電子加工手段把結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到基底上。 過程如下圖所示:

由于熱壓印需要采用較高壓力,容易損壞模板,不利于模板多次使用,并且由于材料和襯底熱系數(shù)并不相同,容易造成納米結(jié)構(gòu)缺陷,于是G.G.Willson 提出了紫外固化壓印。該設(shè)備主要原理是:使用低粘度,流動性好的聚合物滴到基板上,利用液體*的毛細(xì)現(xiàn)象,使光刻膠充滿模板,然后通過紫外光照射使其固化,然后脫模,刻蝕。過程如下圖所示

到目前為止壓印技術(shù)已經(jīng)發(fā)展出來多種類型,典型的包括熱塑壓印技術(shù)、紫外固化壓印、微接觸納米壓印、激光輔助納米壓印和滾軸式納米壓印技術(shù)等。

為了滿足市場日益增長對納米壓印的需求,上海昊量推出了UV納米壓印機。

該設(shè)備是基于紫外固化的納米壓印機,可提供2英寸;4英寸和6英寸不等的壓印尺寸。分辨率可做到由于10nm,并且擁有99%產(chǎn)率。

該設(shè)備的*之處是已獲得的自動脫模技術(shù)。該設(shè)備可以通過軟件調(diào)節(jié)納米壓印腔體內(nèi)外的壓力,是模板從襯底上自動脫模。并且可避免分離過程中造成基底和模板的損壞。

該產(chǎn)品擁有以下優(yōu)勢:

l  分辨率優(yōu)于10μm,產(chǎn)率優(yōu)于99%

l  同時適用于軟模和剛性模板

l  自動脫模,防止模板和基板損壞

l  可壓印不同尺寸的模板和基片,方便靈活

l  可編程的PLC觸屏界面

l  對準(zhǔn)選項

 

應(yīng)用實例:

產(chǎn)品參數(shù):

 

AUV-200

AUV-400

AUV-600

Substrate   size

2 inch standard

4 inch standard

6 inch standard

Imprint   area

Same as   wafer size

Imprint   pressure

1 psi standard

UV   exposure time

2-3 min   at 95% intensity level

 



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