壓印機. UV納米壓印機
- 公司名稱 上海昊量光電設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 壓印機.
- 產(chǎn)地 國外
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2021/6/2 9:46:18
- 訪問次數(shù) 3552
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激光器調(diào)制器,激光測量加工設(shè)備,光學(xué)部件,光譜儀,光纖器件,晶體,精密定位系統(tǒng)掃描系統(tǒng),探測器光子計數(shù)器,專用實驗設(shè)備,相機
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),電子,航天,綜合 |
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UV納米壓印機
納米壓印技術(shù)是上世紀(jì)90年代Stephen Y Chou,針對傳統(tǒng)光刻受波長限制提出的類似于模板刻印的一種技術(shù)。它的原理是:將具有納米結(jié)構(gòu)的模板通過一定壓力,壓入加熱的熔融的高分子薄膜內(nèi),待高分子材料冷卻,納米結(jié)構(gòu)定型,移去模板,然后再通過等離子體刻蝕等傳統(tǒng)的微電子加工手段把結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到基底上。 過程如下圖所示:
由于熱壓印需要采用較高壓力,容易損壞模板,不利于模板多次使用,并且由于材料和襯底熱系數(shù)并不相同,容易造成納米結(jié)構(gòu)缺陷,于是G.G.Willson 提出了紫外固化壓印。該設(shè)備主要原理是:使用低粘度,流動性好的聚合物滴到基板上,利用液體*的毛細(xì)現(xiàn)象,使光刻膠充滿模板,然后通過紫外光照射使其固化,然后脫模,刻蝕。過程如下圖所示
到目前為止壓印技術(shù)已經(jīng)發(fā)展出來多種類型,典型的包括熱塑壓印技術(shù)、紫外固化壓印、微接觸納米壓印、激光輔助納米壓印和滾軸式納米壓印技術(shù)等。
為了滿足市場日益增長對納米壓印的需求,上海昊量推出了UV納米壓印機。
該設(shè)備是基于紫外固化的納米壓印機,可提供2英寸;4英寸和6英寸不等的壓印尺寸。分辨率可做到由于10nm,并且擁有99%產(chǎn)率。
該設(shè)備的*之處是已獲得的自動脫模技術(shù)。該設(shè)備可以通過軟件調(diào)節(jié)納米壓印腔體內(nèi)外的壓力,是模板從襯底上自動脫模。并且可避免分離過程中造成基底和模板的損壞。
該產(chǎn)品擁有以下優(yōu)勢:
l 分辨率優(yōu)于10μm,產(chǎn)率優(yōu)于99%
l 同時適用于軟模和剛性模板
l 自動脫模,防止模板和基板損壞
l 可壓印不同尺寸的模板和基片,方便靈活
l 可編程的PLC觸屏界面
l 對準(zhǔn)選項
應(yīng)用實例:
產(chǎn)品參數(shù):
AUV-200 | AUV-400 | AUV-600 | |
Substrate size | 2 inch standard | 4 inch standard | 6 inch standard |
Imprint area | Same as wafer size | ||
Imprint pressure | 1 psi standard | ||
UV exposure time | 2-3 min at 95% intensity level |