nanoEM 多功能高磁控濺射噴金儀—nanoEM
- 公司名稱(chēng) QUANTUM量子科學(xué)儀器貿(mào)易(北京)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) nanoEM
- 產(chǎn)地
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 生產(chǎn)廠(chǎng)家
- 更新時(shí)間 2024/4/18 11:56:29
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 2299
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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控制方式 | 全自動(dòng),引導(dǎo)式觸屏控制 | 樣品臺(tái)尺寸 | 可安裝兩個(gè)2英寸濺射源mm |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子,電氣,綜合 |
多功能高磁控濺射噴金儀—nanoEM
nanoEM是Moorfield Nanotechnology推出的款高精度的磁控濺射噴金儀。該系統(tǒng)可配備SEM樣品托、TEM網(wǎng)、普通樣品等多種樣品臺(tái),滿(mǎn)足各種高精度的噴金或電生長(zhǎng)需求。除了濺射金屬電外,nanoEM還具有大的拓展空間,雖然作為臺(tái)式設(shè)備,nanoEM配備了輸出功率可達(dá)300W的濺射源,系統(tǒng)還可選擇樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)、樣品傾斜、自動(dòng)壓強(qiáng)控制等多種功能。豐富的選件和配置可以滿(mǎn)足學(xué)術(shù)研究的多種樣品生長(zhǎng)需求,可升成為臺(tái)多功能的磁控濺射薄膜制備系統(tǒng)。該設(shè)備作為靈活的高精度金屬濺射儀備受各大實(shí)驗(yàn)室的青睞。
主要點(diǎn): ◎ 能夠達(dá)到學(xué)術(shù)研究的多功能?chē)娊饍x ◎ SEM托、TEM網(wǎng)、普通樣品多種樣品臺(tái)可選 ◎ 可安裝兩個(gè)2英寸濺射源 ◎ 通用的濺射靶材 ◎ 本底真空<5×10-7 mbar ◎ 流量計(jì)精確控制生長(zhǎng)氣氛 ◎ 可調(diào)式DC濺射源,輸出功率可達(dá)300W ◎ 全自動(dòng),引導(dǎo)式觸屏控制 ◎ 完備的安全性設(shè)計(jì) ◎ 易于維護(hù) ◎ 兼容超凈室 ◎ 穩(wěn)定的性能表現(xiàn)
系統(tǒng)選件: ◎ 腔體視窗 ◎ 真空泵型號(hào)可選 ◎ 氣壓全自動(dòng)控制系統(tǒng) ◎ 濺射源擋板 ◎ 等離子體輝光電 ◎ 樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)與傾斜 ◎ 晶振膜厚監(jiān)測(cè)系統(tǒng) |
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