CS200H質(zhì)量流量控制器
- 公司名稱 北京華丞電子有限公司
- 品牌 七星華創(chuàng)
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2020/6/20 11:00:05
- 訪問次數(shù) 5517
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北京華丞電子有限公司（以下簡稱“華丞電子”）是由北京七星華創(chuàng)流量計有限公司、北京七星華創(chuàng)集成電路裝備有限公司及北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司射頻業(yè)務(wù)單元整合而成的工業(yè)領(lǐng)域核心零部件及解決方案科技企業(yè)，華丞電子立足于集成電路、新能源等工業(yè)領(lǐng)域的科技前沿，集聚了多項先進零部件技術(shù)核心人才，致力于成為一家全面的工業(yè)零部件解決方案供應(yīng)商。
華丞電子傳承了數(shù)十年在流量測控、射頻技術(shù)和自動化設(shè)備等領(lǐng)域的專業(yè)優(yōu)勢，技術(shù)積和創(chuàng)新能力。產(chǎn)品迭代升級的同時，華丞電子依據(jù)客戶新的產(chǎn)品需求不斷探索研究，深挖技術(shù)，創(chuàng)新產(chǎn)品，拓寬產(chǎn)品線，形成了流量測控、壓力測控、氣路系統(tǒng)、射頻電源、匹配器、磁流體密封裝置、傳輸系統(tǒng)、自動化裝備等系列產(chǎn)品，為半導體、光伏、燃料電池、真空鍍膜等領(lǐng)域提供解決方案。華丞電子布局六大研發(fā)/生產(chǎn)基地，營銷服務(wù)體系覆蓋歐、美、亞等全球主要國家和地區(qū)。
在新的征程上，北京華丞電子有限公司將攜手所有合作伙伴，共同開創(chuàng)電子科技領(lǐng)域的新篇章，為構(gòu)建智慧社會貢獻我們的力量。
氣體質(zhì)量流量計、數(shù)字氣體流量計、氨氣流量控制器、氧氣流量計、質(zhì)量流量控制器
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
CS200H質(zhì)量流量控制器是七星流量計生產(chǎn)的數(shù)字型高溫產(chǎn)品，其電氣和機械部分采用分體式的設(shè)計，通過高溫線纜連接，可以實現(xiàn)在高溫環(huán)境下工作，能夠滿足復(fù)雜多變的半導體測量需求。
優(yōu)勢
• 控制器工作溫度：90~120℃。
• 高控制精度：產(chǎn)品精度可達±1.0% S.P.(≥35%F.S.)。
• 快速響應(yīng)，響應(yīng)時間≤ 0.8sec。
• 采用恒功率傳感器原理，在溫度變化時進行相應(yīng)的補償，從根本上抑制了流量計的零漂現(xiàn)象，保證了傳感器線性。
• 產(chǎn)品采用專門的金屬表面處理技術(shù)，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS200產(chǎn)品金屬表面粗糙度更可達10RA以下，嚴格按照SEMI標準生產(chǎn)制造。
• 支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數(shù)字，模擬輸入輸出。
• 產(chǎn)品尺寸符合通用的SEMI標準，RS485，DeviceNet通訊方式。
CS200H質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)
CS200 | ||
型號 | CS200-H | |
閥類型 | 常閉 | 無 |
流量規(guī)格(N2) | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | |
準確度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) | |
線性 | ±0.5% F.S. | |
重復(fù)精度 | ±0.2% F.S. | |
響應(yīng)時間 | ≤ 1sec | |
工作壓差范圍 | 0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM | ＜0.02 MPa |
大工作壓力 | 0.45MPa | |
溫度系數(shù) | 零點: ≤±0.1% F.S./℃；調(diào)節(jié)時: ≤±0.1% F.S./℃ | |
耐壓強度 | 3MPa | |
漏率 | 1×10-11 Pa·m3 / sec He | |
密封材料 | 金屬密封 | |
工作環(huán)境溫度 | 質(zhì)量流量控制器/流量計:（90～120）℃；控制盒:（0～50）℃ | |
輸入信號 | 數(shù)字: RS485 或 DeviceNet | 無 |
輸出信號 | 數(shù)字:RS485或 DeviceNet | |
零漂 | 在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年 | |
電源 | ±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極) | |
表面化學成分 | Cr/Fe比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥20 （埃） | |
表面粗糙度 | 10 Ra | |
標準接頭形式 | 雙卡套φ6；雙卡套1/4；VCR1/4陽接頭；1.5´´C型密封接頭 | |
電源接頭形式 | D型9針陽接頭；D型15針陽接頭；DeviceNet接頭 | |
連接高溫電纜 | 2m | |
重量 | 1.2Kg | 1Kg |
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