產地類別 | 進口 | 產品種類 | 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀 |
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價格區(qū)間 | 面議 | 應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子,航天,電氣 |
*代理商——岱美儀器技術服務(上海)有限公司
Subnano 輪廓儀
NanoX-2000/3000系列、3D光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測量(CSI)等技術的基礎上,以其納米級測量準確度和重復性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。
產品優(yōu)勢
美國硅谷研發(fā)的核心技術和系統(tǒng)軟件
關鍵硬件采用美國、德國、日本等
PI納米移動平臺及控制系統(tǒng)
Nikon干涉物鏡
NI信號控制板和Labview64 控制軟件
TMC光學隔振臺
測量準確度重復性達到shijie*水平(中國計量科學研究院證書)
輪廓儀——表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度測量參數
產品參數:
n 測量模式 移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI)
n 樣 品 臺 150mm/200mm/300mm樣品臺(可選配)
XY平移:±25mm/150mm/200mm/300mm,傾斜:±5°
可選手動/電動樣品臺
n CCD相機像素 標配:1280×960
n 視場范圍 560×750um(10×物鏡)
具體視場范圍取決于所配物鏡及CCD相機
n 光學系統(tǒng) 同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)
n 光 源 高效LED
n Z方向聚焦 80mm手動聚焦(可選電動聚焦)
n Z方向掃描范圍 精密PZT掃描(可選擇高精密機械掃描,拓展達10mm )
n 縱向分辨率 <0.1nm
n RMS重復性* 0.005nm,1σ
n 臺階測量** 準確度 ≤0.75%;重復性 ≤0.1%,1σ
n 橫向分辨率 ≥0.35um(100倍物鏡)
n 檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的CCD和掃描模式有關
輪廓儀——表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度測量應用