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NanoX-2000/3000 輪廓儀——表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度

參考價 13
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協議為準

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岱美有限公司(下面簡稱岱美)成立于1989年,是一間擁有多年經驗的性高科技設備分銷商,主要為半導體、MEMs、光通訊、數據存儲、高校及研發(fā)中心提供各類測量設備、工序設備以及相應的技術支持,并與一些重要的客戶建立了*合作的關系。

自1989年創(chuàng)立至今,岱美的產品以及各類服務、解決方案廣泛地運用于中國大陸、香港、中國臺灣、新加坡、泰國、馬來西亞、菲律賓等地區(qū)。
主要產品包括有:EVG晶圓鍵合設備、EVG納米壓印設備、EVG紫外光刻機、EVG涂膠顯影機、EVG硅片清洗機、EVG超薄晶圓處理設備、壓力計、流量計、等離子電源、非接觸式光學三坐標測量儀、薄膜厚度檢測儀、電容式位移傳感器、振動樣品磁強計 (VSM)、粗糙度檢測儀、電鏡 (SEM)、透鏡 (TEM)、原子力顯微鏡 (AFM)、防振臺系統(tǒng)、三維原子探針材料分析儀 (Atom Probe)、激光干涉儀、平面/球面大口徑動態(tài)激光干涉儀、氦質譜檢漏儀、紫外線固化儀、碳納米管生長設備等。
岱美中國擁有八十多名訓練有素的工程師,能夠為各地區(qū)用戶作出快捷、可靠的技術支持和維修服務;為確保他們的專業(yè)知識得以更新及并適應新的要求,岱美定期委派工程師前往海外接受專項技術訓練,務求為顧客提供更高質素的售后服務及技術支持。
總部位于中國香港的岱美分別在新加坡、泰國、中國臺灣、馬來西亞、菲律賓及中國大陸(上海、東莞及北京)設立了分公司及辦事處,以帶給客戶更快捷更的銷售及維修服務。
我們真誠希望和業(yè)界的用戶互相合作,共同發(fā)展??!
     

膜厚測量儀、隔震臺、磁強計

產地類別 進口 產品種類 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀
價格區(qū)間 面議 應用領域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子,航天,電氣

*代理商——岱美儀器技術服務(上海)有限公司

 

 

 

 

Subnano 輪廓儀

Subnano 輪廓儀

  

 

 

 

 

 

NanoX-2000/3000系列、3D光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測量(CSI)等技術的基礎上,以其納米級測量準確度和重復性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。

 

 產品優(yōu)勢

  

美國硅谷研發(fā)的核心技術和系統(tǒng)軟件

  關鍵硬件采用美國、德國、日本等

  PI納米移動平臺及控制系統(tǒng)

  Nikon干涉物鏡

  NI信號控制板和Labview64 控制軟件

  TMC光學隔振臺

  測量準確度重復性達到shijie*水平(中國計量科學研究院證書)

輪廓儀——表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度測量參數

 

產品參數:

 

測量模式        移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI

        150mm/200mm/300mm樣品臺(可選配)

                    XY平移:±25mm/150mm/200mm/300mm,傾斜:±5°

                    可選手動/電動樣品臺

CCD相機像素    標配:1280×960

視場范圍        560×750um10×物鏡)

                    具體視場范圍取決于所配物鏡及CCD相機

光學系統(tǒng)        同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)

            高效LED

Z方向聚焦      80mm手動聚焦(可選電動聚焦)

       n  Z方向掃描范圍  精密PZT掃描(可選擇高精密機械掃描,拓展達10mm )

縱向分辨率      0.1nm

RMS重復性*     0.005nm,

臺階測量**              準確度 ≤0.75%;重復性 ≤0.1%,

橫向分辨率              ≥0.35um100物鏡)

檢測速度                   ≤ 35um/sec , 與所選的CCD和掃描模式有關

 

輪廓儀——表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度測量應用

 

 

 



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