化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>薄膜生長設(shè)備>化學(xué)氣相沉積設(shè)備>WBMW-DLZ3 巨源實驗室常用微波等離子體化學(xué)氣相沉積
一、巨源實驗室常用微波等離子體化學(xué)氣相沉積:
具有高電離度、高電子溫度和電子密度、適用壓強范圍寬、無內(nèi)部電極污染等特點,微波等離子體在材料表面處理、金剛石薄膜制備、化學(xué)沉積、刻蝕以及甲烷轉(zhuǎn)化制氫、長余輝發(fā)光材料、陶瓷燒結(jié)、碳納米管修飾[3]、納米粉體合成、處理水污染等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。
二、應(yīng)用特點:
1. 垂直反應(yīng)器的設(shè)計可使等離子密度高;對稱的微波發(fā)生裝置,使產(chǎn)生的等離子場環(huán)境更均勻。
2. 諧振腔內(nèi)沒有內(nèi)部電極,可以避免電極放電所產(chǎn)生的污染,而且,它的運行氣壓范圍比較寬,所產(chǎn)生等離子體密度高、區(qū)域大,穩(wěn)定度高,且不與真空器壁接觸,從而避免了器壁對薄膜的污染。
三、巨源實驗室常用微波等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù)參數(shù):
型號/model | WBMW-DLZ3 |
可加熱材料 | 非易燃易爆的任何材料 |
微波頻率 | 2.45GHZ±50MHz |
加熱方式 | 純微波加熱 |
射頻功率/KW | 3 (功率可調(diào)) |
工作溫度/℃ | 1200 |
*工作溫度/℃ | ≤1100 |
溫度測試元件 | 微波場傳感器/紅外測溫可選 |
控溫精度/℃ | ±2(微波場傳感器) |
石英管尺寸(外徑/內(nèi)經(jīng)X長度)/mm | φ102/φ92x1000 |
真空系統(tǒng)配置(可選) | 簡單機械泵抽真空和不銹鋼法蘭; 10-1Pa真空機械泵及真空計; 10-2Pa真空機械泵、擴散泵及真空計; 10-3Pa真空機械泵、分子泵及真空計; |
升溫速率(標(biāo)配) | 0~1000℃/min可任意設(shè)定,可編程、分段加熱 |
外型尺寸(長x寬x高)/mm | 1000′750′1830 |
微波泄漏量/ mW/㎝ | ≤0.4 |
提供相關(guān)配件 | 防護 手套×1、中文說明書×1 |
保質(zhì)期 | 整機免費保修1年 |