MIRA3 -- 場發(fā)射掃描電鏡的設(shè)計適用于各種各樣的SEM應(yīng)用及當(dāng)今研究和產(chǎn)業(yè)的需求。大電子束流下的高分辨率有利于分析應(yīng)用，例如：EBSD、WDX等分析。MIRA3 -- 場發(fā)射掃描電鏡可配置LM、XM或GM三種樣品室。所有的MIRA樣品室（LM、XM或GM）提供的5軸馬達驅(qū)動全計算機化優(yōu)中心樣品臺，完善的幾何設(shè)計更適合安裝能譜儀（EDS），波譜儀（WDX），電子背散射衍射（EBSD），XM和GM樣品室適用于大樣品的分析。

現(xiàn)代電子光路

·       高亮度肖特基電子槍可獲得高分辨率/高電流/低噪音圖像

·       *的三透鏡大視野觀察（Wide Field Optics™）設(shè)計提供了多種工作與顯示模式

·       *的中間鏡的作用就如同軟件“光闌轉(zhuǎn)換器”，它以電磁方式有效地改變物鏡光闌

·       結(jié)合了完善的電子光學(xué)設(shè)計軟件的實時電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™），可模擬和優(yōu)化電子束

·       可選的In-Beam探頭可獲得特高分辨率圖像

·       電鏡的全自動設(shè)置

·       成像速度快

·       使用3維電子束技術(shù)，實時得到立體圖像，三維導(dǎo)航

維修簡單

現(xiàn)在保持電鏡處在的狀態(tài)很簡單，只需要很短的停機時間。每個細節(jié)設(shè)計得很仔細，使得儀器的效率大化，操作簡化。

MIRA3 GM

MIRA3 GM是一款*由計算機控制的場發(fā)射掃描電子顯微鏡，可在高真空和低真空模式下操作，其具有突出的光學(xué)性能，清晰的數(shù)字化圖像，成熟、用戶界面友好的操作軟件等特點。基于Windows™平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作和圖像采集，可以保存標(biāo)準(zhǔn)文件格式的圖片，可以對圖像進行管理、處理和測量，實現(xiàn)了電鏡的自動設(shè)置和許多其它自動操作。

MIRA3 XM

MIRA3 XM是一款*由計算機控制的場發(fā)射掃描電子顯微鏡，可在高真空和低真空模式下操作，其具有突出的光學(xué)性能，清晰的數(shù)字化圖像，成熟、用戶界面友好的操作軟件等特點?；赪indows™平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作和圖像采集，可以保存標(biāo)準(zhǔn)文件格式的圖片，可以對圖像進行管理、處理和測量，實現(xiàn)了電鏡的自動設(shè)置和許多其它自動操作。

MIRA3 LM

MIRA3 LM是一款*由計算機控制的場發(fā)射掃描電子顯微鏡，可在高真空和低真空模式下操作，其具有突出的光學(xué)性能，清晰的數(shù)字化圖像，成熟、用戶界面友好的操作軟件等特點?；赪indows™平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作和圖像采集，可以保存標(biāo)準(zhǔn)文件格式的圖片，可以對圖像進行管理、處理和測量，實現(xiàn)了電鏡的自動設(shè)置和許多其它自動操作。

MIRA3的設(shè)計適用于各種各樣的SEM應(yīng)用及當(dāng)今研究和產(chǎn)業(yè)的需求。大電子束流下的高分辨率有利于分析應(yīng)用，例如：EBSD、WDX等分析。MIRA3場發(fā)射掃描電鏡可配置LM、XM或GM三種樣品室。所有的MIRA樣品室（LM、XM或GM）提供的5軸馬達驅(qū)動全計算機化優(yōu)中心樣品臺，完善的幾何設(shè)計更適合安裝能譜儀（EDS），波譜儀（WDX），電子背散射衍射（EBSD）。XM和GM樣品室適用于大樣品的分析。