UL3000 Fab（PLUS）移動(dòng)式氦氣檢漏儀（干式）

 inficon UL3000檢漏儀維修

ULTRATEST ™傳感器 技術(shù)

專為滿足半導(dǎo)體應(yīng)用中的泄漏測(cè)試需求而設(shè)計(jì)。 

它具有靈活性，移動(dòng)性，快速啟動(dòng)，高靈敏度，快速而精確的測(cè)試結(jié)果以及可靠性。

快速結(jié)果
改進(jìn)的真空系統(tǒng)具有低維護(hù)真空泵，可檢測(cè)從大氣壓開(kāi)始的泄漏。堅(jiān)固耐用的質(zhì)譜儀系統(tǒng)可確保較長(zhǎng)的運(yùn)行時(shí)間和較低的維護(hù)成本。UL3000 Fab PLUS中的HYDRO-S軟件消除了水汽本底，并使泄漏測(cè)試更快。 

UL3000 Fab PLUS使用久經(jīng)考驗(yàn)的嗅探線SL3000（長(zhǎng)10 ??m）也提供了改進(jìn)的嗅探能力。

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可旋轉(zhuǎn)和遠(yuǎn)程控制的顯示屏
新的觸摸屏顯示屏即使在很長(zhǎng)的距離下也可以顯示測(cè)試結(jié)果和狀態(tài)信息。通過(guò)用戶指導(dǎo)的菜單結(jié)構(gòu)可輕松進(jìn)行操作，即使對(duì)于沒(méi)有經(jīng)驗(yàn)的操作員也是如此。可通過(guò)智能手機(jī)或平板電腦對(duì)UL3000 Fab（PLUS）進(jìn)行無(wú)線控制-無(wú)需特殊軟件或應(yīng)用程序。通過(guò)按鈕記錄和存儲(chǔ)測(cè)試結(jié)果可以轉(zhuǎn)移到其他存儲(chǔ)介質(zhì)中進(jìn)行進(jìn)一步分析。

纖巧的設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)*的操作性
低重心，大輪子，符合人體工程學(xué)設(shè)計(jì)的手柄以及纖巧的外殼，即使在狹窄的空間內(nèi)，也可實(shí)現(xiàn)UL3000 Fab（PLUS）的良好移動(dòng)性。

inficon P3000檢漏儀維修
簡(jiǎn)便的測(cè)試和校準(zhǔn)方法-大的準(zhǔn)確性 

通過(guò)INFICON校準(zhǔn)的測(cè)試泄漏，可以測(cè)試和校準(zhǔn)氦氣嗅探器檢漏儀Protec P3000（XL），以實(shí)現(xiàn)檢漏中高質(zhì)量的要求。測(cè)試泄漏的處理和嗅探器檢漏器的校準(zhǔn)非常容易。這些泄漏的功能基于特殊的石英毛細(xì)管，該石英毛細(xì)管經(jīng)過(guò)定制，可從測(cè)試氣體儲(chǔ)罐中提供特定的減少流量。

優(yōu)點(diǎn)

• 準(zhǔn)備在大氣壓下測(cè)量
• 觸摸屏直觀的用戶指南
• 堅(jiān)固的真空系統(tǒng)，對(duì)灰塵和污染物不敏感
• 小轉(zhuǎn)彎半徑，完美的機(jī)動(dòng)性
• 可通過(guò)網(wǎng)絡(luò)瀏覽器通過(guò)智能手機(jī)進(jìn)行操作
• 配件可在設(shè)備上找到

典型應(yīng)用

• 在組件安裝到現(xiàn)有工具中之前進(jìn)行泄漏測(cè)試
• 檢查和安裝過(guò)程氣體系統(tǒng)
• 使用TC1000測(cè)試室自動(dòng)測(cè)試密封組件
• 在對(duì)測(cè)試條件和清潔度有高要求的環(huán)境中進(jìn)行泄漏測(cè)試