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BTF-1200C-S-PECVD 微型PECVD系統(tǒng)管式爐

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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      安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售與技術(shù)服務(wù)于一體的高科技企業(yè)。

      公司重視技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā),建有超卓的產(chǎn)品研發(fā)中心,擁有一支由多名博士碩士組成的專(zhuān)業(yè)研發(fā)隊(duì)伍,累計(jì)獲得patent200余項(xiàng)。并通過(guò)產(chǎn)學(xué)研合作,與北京大學(xué)南開(kāi)大學(xué)等多所院校建立聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室及研究生聯(lián)合培養(yǎng)基地
      公司專(zhuān)注于新材料裝備工藝開(kāi)發(fā)及裝備制造,產(chǎn)品門(mén)類(lèi)涵蓋了OLED材料提純專(zhuān)用設(shè)備系列、碳材料制備設(shè)備系列、半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備系列及金屬納米顆粒設(shè)備系列四大類(lèi)共十余個(gè)子類(lèi),與眾多材料廠商、科研院校等保持長(zhǎng)期合作關(guān)系,市場(chǎng)營(yíng)銷(xiāo)網(wǎng)絡(luò)遍布全球各地。
      連年來(lái),公司相繼被認(rèn)定為“高新技術(shù)企業(yè)”“專(zhuān)精特新企業(yè)““科技小巨人培育企業(yè)”“石墨烯生長(zhǎng)設(shè)備工程技術(shù)研究中心”“瞪羚企業(yè)”“雛鷹企業(yè)”,并接連獲得“中國(guó)隱形獨(dú)角獸500強(qiáng)”“科技創(chuàng)新獎(jiǎng)”“創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)獎(jiǎng)”等多項(xiàng)榮譽(yù)。

 

 

 

 

 

 

 

 

高溫管式爐,箱式爐,CVD系統(tǒng),PECVD系統(tǒng), 等離子清洗機(jī),陶瓷材料燒結(jié)設(shè)備

產(chǎn)地類(lèi)別 國(guó)產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 5萬(wàn)-10萬(wàn)
儀器種類(lèi) 管式爐 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè)

微型PECVD系統(tǒng),它包括小型真空管式爐,石英真空室、真空抽氣與真空測(cè)量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)、物料噴射系統(tǒng)。電源范圍寬:0-100W可調(diào); 溫度范圍寬:100-1200度可調(diào);濺射區(qū)域?qū)挘?-600mm可調(diào);適用范圍寬:金屬薄膜,陶瓷薄膜等,復(fù)合薄膜,連續(xù)生長(zhǎng)各種薄膜等。增加功能容易,可擴(kuò)展等離子清洗刻蝕等功能。

 

主要特點(diǎn)

 

    1. 薄膜沉積速率高:采用了甚高頻技術(shù),大大的提高了薄膜的沉積速率,沉積速率可達(dá)10Å/S;
    2. 大面積均勻性高:采用了*的多點(diǎn)射頻饋入技術(shù),特殊氣路分布和加熱技術(shù)等,使得薄膜均勻性指標(biāo)達(dá)到8%;
    3. 一致性高:用半導(dǎo)體行業(yè)的*設(shè)計(jì)理念,使得一次沉積的各基片之間偏差低于2%;
    4. 工藝穩(wěn)定性高:高度穩(wěn)定的設(shè)備保證了工藝的連續(xù)和穩(wěn)定;

    5. 選配物料噴射系統(tǒng),可將原料直接噴射到反應(yīng)區(qū)。

 

技術(shù)參數(shù)

 

 

真空管式爐

爐管尺寸:

外徑Φ50×700mm

極限溫度:

1200℃

溫度控制器:

PID自動(dòng)控制晶閘管(可控硅)輸出功率,30段可編程控制器

zui快升降溫速率:

60℃

加熱區(qū):

230mm

恒溫區(qū):

100mm

溫度精度:

±1℃

電源:

單相220V,交流50Hz

 

 

 

多通道流量計(jì)控制系統(tǒng)

標(biāo)準(zhǔn)量程:

100,200SCCM;(以氮?dú)鈽?biāo)定,除以上標(biāo)準(zhǔn)外量程可選)

準(zhǔn)確度:

±1.5%

工作壓差范圍:

0.1~0.5 MPa

大壓力:

3MPa

接頭類(lèi)型:

Φ6雙卡套不銹鋼接頭

 

 

高真空系統(tǒng)

                   

 

泵體積流量N2

33 L/S

壓縮比:

≥1011mbar   

實(shí)驗(yàn)真空值:

≤10-6mbar

功率消耗:

140W

啟動(dòng)時(shí)間:

2min

電源要求:

185-265V AC

射頻電源

信號(hào)頻率:

13.56MHz±0.005%W

功率輸出范圍:

0-100W

大反射功率:

10W



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