IC6膜厚控制儀
- 公司名稱 杭州太昊科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/1/24 11:42:09
- 訪問次數(shù) 4376
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,綜合 |
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通知:INFICON公司將于2010年底停止IC5型膜厚控制儀的生產(chǎn)和銷售,但會(huì)繼續(xù)保證在使用中的IC5的保修、維護(hù)及零部件供應(yīng)。
從2010年8月起,INFICON公司將正式開始IC5的替代升級型號(hào):IC6的市場銷售。
IC6膜厚控制儀
IC/6具有寬廣的功能,它可啟動(dòng)抽空過程、控制閥門、啟用基片加熱器等。這些增強(qiáng)的功能使系統(tǒng)無需配備輔助儀器,從而降低系統(tǒng)的復(fù)雜性和成本。IC/6的邏輯與控制功能包含100個(gè)可編程的邏輯狀態(tài);I/O和TTL繼電器電路板提供多至24個(gè)繼電器輸出,28個(gè)TTL輸入,14個(gè)TTL輸出,20個(gè)計(jì)數(shù)和20個(gè)計(jì)時(shí)。邏輯狀態(tài)可與外輸入或輸出聯(lián)用。每個(gè)狀態(tài)可包含多至5個(gè)功能,并用布爾邏輯鏈接。IC/6可為源控制或圖形記錄儀輸出提供6個(gè)可賦值的模擬輸出、沉積速率、膜厚或沉積速率的偏離。
IC6膜厚控制儀的優(yōu)勢:
在保留了IC5的所有技術(shù)特點(diǎn)之外,增加了如下幾點(diǎn)新功能:
1)TFT-LCD顯示屏替代IC5的CRT顯像管;
2)USB數(shù)據(jù)采集接口取代IC5的軟盤驅(qū)動(dòng);
3)測量精度由IC5的0.0047HZ提高到0.0035HZ;
4)厚度控制分辨率由IC5的0.0058埃提高到0.0043埃;