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離子濺射儀 MC1000

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似空科學儀器(上海)有限公司是一家儀器設備的經銷商。我們致力于為中國制造業(yè)和研發(fā)機構提供高精度、符合人體工學設計的儀器設備。我們也夢想有朝一日,能夠充分掌握市場需求,深刻理解儀器設備的技術原理,聚集一批有激情、有理想、有技術的人,為中國的制造業(yè)升級以及中國科研走向世界,提供自有知識產權的先進儀器設備!
儀器設備發(fā)展的是探測手段和傳感器不對被測目標產生任何干擾,企業(yè)管理的是一切以市場為核心,不以自我的意愿抗拒市場的趨勢,代替客戶的喜好,于是我們取名“似空”,希望以忘我的精神服務客戶。

 

失效分析,芯片開封,表面觀測,金相研磨,光學及視頻顯微鏡,超聲波檢測,X射線檢測,激光微納加工等

產地類別 進口 應用領域 電子

采用磁控型電極,大限度地減輕對樣品的損壞。

離子濺射儀 MC1000特色

  • 采用LCD觸摸屏,可以更加簡便地設定加工條件
  • 可處理較厚或較大的樣品(選配件)
  • 記憶功能可存儲常用加工條件

離子濺射儀 MC1000規(guī)格

項目說明
放電類型磁控二極管放電型(電場垂直于磁場)
電極組成反向平行盤(嵌入磁鐵)
電壓大 0.4 kV DC(直流可變)
電流大 40 mA DC
噴鍍速率 *1(大)
[條件]
壓力:7 Pa
放電電流:40 mA
標靶與樣品表面之間的距離:20 mm
Pt 靶(選配件)15 nm/min
Pt-Pd 靶(選配件)20 nm/min
Au 靶(選配件)35 nm/min
Au-Pd 靶(選配件)25 nm/min
樣品尺寸大直徑φ60 mm
大高度20 mm
機械泵135/162 l/min (50/60Hz)
靶材*2Pt , Pt-Pd (8:2) , Au , Au-Pd (6:4)
電源要求單相, 100 V AC (±10%) 15 A (50/60 Hz), 3-針插頭線纜(3 m)
尺寸寬度450 mm
長度391 mm
高度390 mm
重量主機:約 25 kg
機械泵:約 28 kg

*1

: 噴鍍速率僅供參考

*2

: 主機內不包括靶材。請從選項中選擇(鉑,鉑-鈀,金,金-鈀)。

 

應用領域:

離子濺射儀在掃描電鏡中應用十分廣泛,通過向樣品表面噴鍍金、鉑、鈀及混合靶材等金屬消除不導電樣品的荷電現(xiàn)象,并提高觀測效率,另外可以使用噴碳附件對樣品進行蒸碳,實現(xiàn)不導電樣品的能譜儀元素定性和半定量分析。

  



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