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磁控濺射與蒸發(fā)鍍膜2

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磁控濺射與蒸發(fā)鍍膜

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沈陽美濟(jì)真空科技有限公司是從事真空鍍膜技術(shù)的高科技公司。

  本公司專注于真空產(chǎn)品設(shè)計制造、薄膜技術(shù)、真空電子產(chǎn)品的設(shè)計制造、自動控制系統(tǒng)及智能控制軟件的研發(fā)。

  公司擁有真空機(jī)械加工廠,有數(shù)控車床,數(shù)控剪板機(jī),數(shù)控折彎機(jī),氬弧焊機(jī),其它如超高真空檢漏儀、超聲波清洗機(jī)等,研發(fā)制造的真空產(chǎn)品能夠滿足客戶要求。

  公司設(shè)計工程師*以來一直專注于高真空、超高真空領(lǐng)域的研究,成熟產(chǎn)品諸如磁控濺射鍍膜設(shè)備、蒸發(fā)鍍膜設(shè)備、有機(jī)小分子發(fā)光顯示(OLED)、分子束外延設(shè)備(MBE)、離子鍍膜設(shè)備、真空熱壓爐、真空退火爐,真空室真空度可達(dá)3×10-8Pa,真空爐溫度可達(dá)1700攝氏度。

空機(jī)械加工廠,有數(shù)控車床,數(shù)控剪板機(jī),數(shù)控折彎機(jī),氬弧焊機(jī),其它如超高真空檢漏儀、超聲波清洗機(jī)等

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 面議

磁控濺射是入射粒子和靶的碰撞過程。入射粒子在靶中經(jīng)歷復(fù)雜的散射過程,和靶原子碰撞,把部分動量傳給靶原子,此靶原子又和其他靶原子碰撞,形成級聯(lián)過程。在這種級聯(lián)過程中某些表面附近的靶原子獲得向外運(yùn)動的足夠動量,離開靶被濺射出來。

磁控濺射設(shè)備性能參數(shù):

  1、磁控濺射與蒸發(fā)鍍膜2 極限真空:2×10-6Pa??慑兇笾睆?英寸基片一片?;謴?fù)真空:從大氣到7×10-4Pa ≦30min(新平臺充干燥氮?dú)猓?。平臺總體漏率:關(guān)機(jī)12小時真空度≤1Pa。

  分子束外延設(shè)備性能參數(shù):

  1、磁控濺射與蒸發(fā)鍍膜2 極限真空:5×10-7Pa。(配400L/S離子泵及2000L/S升華泵后極限真空可達(dá)2×10-8Pa)可鍍大直徑4英寸基片一片。恢復(fù)真空:從大氣到7×10-4Pa ≦40min(新設(shè)備充干燥氮?dú)猓?,設(shè)備總體漏率:關(guān)機(jī)12小時真空度≤0.2Pa。



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