磁控濺射
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱(chēng) 沈陽(yáng)美濟(jì)真空科技有限公司-J
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2019/5/25 15:11:48
- 訪問(wèn)次數(shù) 596
產(chǎn)品標(biāo)簽
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空機(jī)械加工廠，有數(shù)控車(chē)床，數(shù)控剪板機(jī)，數(shù)控折彎?rùn)C(jī)，氬弧焊機(jī)，其它如超高真空檢漏儀、超聲波清洗機(jī)等
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|
1、基片尺寸：≥110×110mm，基片加擋板。
2、基片臺(tái)：基片臺(tái)旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速0-25rpm連續(xù)可調(diào)，光控定位；
襯底加熱：磁控濺射采用真空加熱器，室溫～1500℃可調(diào)可控；
反濺清洗；磁控濺射采用射頻電源對(duì)基片表面進(jìn)行“清洗/活化”；
3、基片架轉(zhuǎn)速0～25轉(zhuǎn)/分，可控可調(diào)。
4、基片架可加熱、可旋轉(zhuǎn)、可升降。
5、靶面到基片距離60～90mm可調(diào)。
6、Ф3英寸圓形平面磁控濺射永磁靶；可鍍鐵磁材料的磁控濺射靶1支，可鍍普通靶材的磁控濺射靶1支；靶材尺寸Ф3英寸。
7、鍍膜室極限真空：≤5×10-5Pa，抽至 10-4Pa≤20min；。
8、速率和膜厚監(jiān)控：石英晶振膜厚儀，在線監(jiān)測(cè)蒸發(fā)速率，監(jiān)控膜厚；厚度監(jiān)測(cè)范圍：1Å～99999Å，分辨率1Å；速率監(jiān)測(cè)范圍：0.1Å～99.9Å /s，分辨率0.1Å；
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