EM13 LD系列多入射角激光橢偏儀系列是采用量拓科技*的測量技術(shù)，針對普通精度需求的研發(fā)和質(zhì)量控制領(lǐng)域推出的多入射角激光橢偏儀。

EM13 LD系列多入射角激光橢偏儀系列采用半導(dǎo)體激光器作為光源，可在單入射角度或多入射角度下對樣品進(jìn)行準(zhǔn)確測量?？捎糜跍y量單層或多層納米薄膜樣品的膜層厚度、折射率n和消光系數(shù)k；也可用于同時(shí)測量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k；亦可用于實(shí)時(shí)測量納米薄膜動(dòng)態(tài)生長中膜層的厚度、折射率n和消光系數(shù)k。多入射角度設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了納米薄膜的厚度測量。

特點(diǎn)：

• 次納米的高靈敏度

  *的采樣方法、穩(wěn)定的核心器件、高質(zhì)量的制造工藝實(shí)現(xiàn)并保證了能夠測量極薄納米薄膜，膜厚精度可達(dá)到0.5nm。

• 3秒的快速測量

  水準(zhǔn)的儀器設(shè)計(jì)，在保證精度和準(zhǔn)確度的同時(shí)，可在3秒內(nèi)快速完成一次測量，可對納米膜層生長過程進(jìn)行測量。

• 簡單方便的儀器操作

  用戶只需一個(gè)按鈕即可完成復(fù)雜的材料測量和分析過程，數(shù)據(jù)一鍵導(dǎo)出。豐富的模型庫、材料庫方便用戶進(jìn)行高級測量設(shè)置。