SZT-C SZT-C快速恒壓四探針測試儀測試臺
- 公司名稱 蘇州晶格電子有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 SZT-C
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2019/11/14 13:55:38
- 訪問次數(shù) 430
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 1-5千 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 | 自動化度 | 手動 |
SZT-C快速恒壓四探針測試儀測試臺
一 、功能與結(jié)構(gòu)特征概述
圖1.1 配ST2553-F01探頭測硅片 圖1.2配ST2558B-F01測ITO薄膜
基本功能:SZT-C快速恒壓四探針測試儀測試臺,是用來裝夾四探針探頭,連接四探針測試儀器,放置樣品,進(jìn)行手動方式測試的機(jī)具。是四探針法測試電阻率/方塊電阻(方阻)儀器的配套測量裝置(以下簡稱測試臺)。
基本組成:主要有載物臺(180mmX180mm凈載物面積)、雙相軌道垂直導(dǎo)向單元、測試壓力調(diào)節(jié)單元、探頭快速升降扳手(頂部戴紅套部分)、探頭連接板等單元。
配套與兼容:本測試臺可選配本公司所有型號的四探針測試探頭,包括鎢針?biāo)奶结樚筋^(測試硬質(zhì)樣品用),鍍金合金探頭(測試柔性薄膜或涂層方阻);本測試臺兼容本公司所有四探針測試儀器。本測試臺加配本公司探頭,可兼容國內(nèi)同行絕大多數(shù)四探針電阻率/方阻測試儀器。
二、可測半導(dǎo)體材料尺寸 (探頭手持方式不限)
直徑或邊長:SZT-C測試臺直接測試方式 Φ15~180mm,或180mm×180mm。
長(或高)度: 測試臺直接測試方式 H≤160mm, 其他方式不限.
測量方位: 軸向、徑向均可
三 、使用方法
3.1 放置樣品:將測試臺上部操作扳手向上向后、向上升起測試臺探頭,如圖2.1,將樣品放在探頭下方測試臺板上,然后將測試臺上部操作扳手向前向下,壓下探頭。如圖2.1!
3.2壓力調(diào)整:在探頭壓下的狀態(tài)下,可根據(jù)樣品厚度及壓力要求,調(diào)節(jié)測試臺導(dǎo)軌支架中部螺桿上的螺母(先松開鎖緊螺帽),觀察探頭探針壓下程度,調(diào)節(jié)測試壓力?。◤椈蓧嚎s量0~20mm,對應(yīng)探頭壓力0~2.0K公斤),調(diào)好后,鎖緊鎖緊螺帽。如圖2.2A
對于ST2253-F01鎢針探頭,探頭探針探針縮進(jìn)量0~4mm,對應(yīng)探頭壓力0~2.0K公斤,如圖2.2B
對于ST2558B-F01薄膜方阻探頭,探頭探針探針縮進(jìn)量0~4mm,對應(yīng)探頭壓力0~400克!如圖2.2C
調(diào)好后,松開手,壓力會自動保持。
3.3 測好后,抬起探頭,移動樣片或移開!
如圖2.1
圖2.2A測試壓力調(diào)整示意 圖2.2B 圖2.2C