SUPRA™ 55熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡采用了GEMINI鏡筒設(shè)計和環(huán)形IN-LENS SE 探測器，具有束流穩(wěn)定、分辨率高的特點(diǎn)，配有牛津X-射線電制冷能譜儀，能同時進(jìn)行導(dǎo)電樣品和非導(dǎo)電樣品的高分辨成像及元素成分分析。

儀器主要特點(diǎn)：

    1．肖特基(Schottky)場發(fā)射電子源，具有較大的發(fā)射電流和*的穩(wěn)定性。

    2．SUPRA™ 55熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡采用技術(shù) GEMINI 鏡筒，克服傳統(tǒng)單極物鏡光闌設(shè)計缺點(diǎn)，消除磁性影響，同時采用無交叉光路設(shè)計，提高了儀器的主要性能。    

    3．采用 Beam booster（電子束加速器），以得到*的低加速電壓性能。

    4．環(huán)形高效 In-lens SE 探測器，具有良好的分辨率和對稱性。

    5．電磁/靜電式復(fù)合物鏡，可對磁性物質(zhì)進(jìn)行高分辨成像。

主要技術(shù)指標(biāo)：

分辨率：1.0nm @ 15kV

1.7nm @ 1kV

4.0nm @ 0.1kV

放大倍數(shù)：12 ~ 900,000x

加速電壓：0.1 ~ 30kV

可分析元素范圍：4Be～94Pu

主要性能：

    二次電子形貌（SEI）、背反射成分像/形貌像（BEI）、吸收電子圖象、能譜成份圖象分析

主要功能：

   1、金屬、非金屬及復(fù)合材料、生物樣品表面形貌、組織結(jié)構(gòu)的觀察分析及圖象處理

   2、納米材料：納米粉及納米粉體的形貌觀察和粒度測量分析

   3、微區(qū)成分的定性、定量分析，并對重點(diǎn)區(qū)域做元素分布圖

   4、顆粒樣品粒徑、面積、周長、圓度的測量，提供粒度分布圖，并可對孔徑樣品做孔徑分布直方圖、餅圖

   5、可對固體材料的表面涂層、鍍層進(jìn)行結(jié)合情況觀察和厚度測量

主要用途：

    廣泛用于冶金、生物、建筑、機(jī)械等行業(yè)的材料形貌觀察及元素成分分析，如金屬、半導(dǎo)體、陶瓷、高分子材料、有機(jī)聚合物等。本電鏡配備有牛津X射線能譜分析儀。