德國超大試樣室掃描電子顯微鏡 (LC-SEM)作為世界上大的一款掃描電鏡，其真空室可容納至直徑與高度分別達(dá)1.5m的樣品，分辨率優(yōu)于10納米，放大倍數(shù)10倍-30萬倍，真空度可達(dá)10的-6次毫巴，加速電壓30kv。德國超大試樣室掃描電子顯微鏡 (LC-SEM)設(shè)計(jì)有多種檢測和分析工具，不僅可以檢查大型零部件的物理特性，還可以評價原材料的化學(xué)和晶體特性。

使用通常掃描電子顯微鏡時，在材料科學(xué)中面臨*大挑戰(zhàn)之一是被測樣品的大小限制。通常情況下，只能對直徑在數(shù)十到一百毫米內(nèi)小的樣本進(jìn)行研究。這限制了這一重要測試技術(shù)的應(yīng)用。德國超大試樣室掃描電子顯微鏡LC-SEM克服了這一點(diǎn)，其超大真空室和光學(xué)系統(tǒng)擴(kuò)展視圖功能*大可容納直徑與高度分別達(dá)1500mm，重300kg的樣品。從一粒沙子到一個柴油發(fā)動機(jī)大小的樣品，不必切小，僅用一臺儀器就可以做全面的檢查。其足夠大的空間還可進(jìn)行原位觀察，實(shí)現(xiàn)零部件疲勞、磨損等非破壞性試驗(yàn)研究。