化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>二手儀器>二手化工機(jī)械設(shè)備>二手輸送設(shè)備>iH600 iH1000 英國(guó)愛(ài)德華晶圓半導(dǎo)體iH600干式真空泵維修
iH600 iH1000 英國(guó)愛(ài)德華晶圓半導(dǎo)體iH600干式真空泵維修
參考價(jià) | ¥ 450000 |
訂貨量 | ≥1 |
- 公司名稱 昆山熙日機(jī)械設(shè)備有限公司
- 品牌 Edwards/英國(guó)愛(ài)德華
- 型號(hào) iH600 iH1000
- 產(chǎn)地 英國(guó)
- 廠商性質(zhì) 其他
- 更新時(shí)間 2019/3/25 9:44:41
- 訪問(wèn)次數(shù) 4048
聯(lián)系方式:張小力13913143077 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
進(jìn)口真空泵,愛(ài)德華真空泵,萊寶真空泵,愛(ài)發(fā)科真空泵,好利旺真空泵,優(yōu)成真空泵,里其樂(lè)真空泵,龍挺真空泵,進(jìn)口真空泵油,真空泵零配件
泵軸位置 | 其他 | 抽氣速率 | 150l/s |
---|---|---|---|
功率 | 6.1kW | 極限壓力 | 0.7pa |
流量 | 600m3/h | 排出口徑 | NW40mm |
輸送介質(zhì) | 其他 | 葉輪數(shù)目 | 其他 |
重量 | 415kg |
英國(guó)愛(ài)德華EDWARDS晶圓半導(dǎo)體iH600干式真空泵維修
概述
Edwards 高級(jí)半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明,可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過(guò)延長(zhǎng)使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率,同時(shí)減小占地面積、降低運(yùn)行成本,實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。英國(guó)愛(ài)德華晶圓半導(dǎo)體iH600干式真空泵維修
iH 系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
應(yīng)用
- 負(fù)載鎖
- 輸送
- 計(jì)量
- 平版印刷
- PVD 制程
- PVD 預(yù)清潔
- RTA
- 剝離/灰化
- 刻蝕
- 植入源
- HDP CVD
- RTP
- SACVD
- MCVD
- PECVD
- LPCVD
- ALD
功能和優(yōu)勢(shì)
- 優(yōu)化了設(shè)施消耗。
- 無(wú)需預(yù)防性維護(hù)。
- 懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
- 在節(jié)省電機(jī)功率的同時(shí)提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。
- 耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
- 較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
- 整體式軸桿無(wú)需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器,而第五級(jí)泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地面積。英國(guó)愛(ài)德華晶圓半導(dǎo)體iH600干式真空泵維修
技術(shù)數(shù)據(jù)
峰值速度 | 600 m3h-1 |
353 cfm | |
10000 l min-1 | |
極限真空 | 7 x 10-4 mbar |
5.3 x 10-4 Torr | |
0.07 Pa | |
典型軸封氮流量 | 4 slm |
進(jìn)氣口連接 | ISO100 |
出口連接 | NW40 |
15 psi 壓降下典型冷卻水流量 | 240 l h-1 |
4 l min-1 | |
重量 | 415 kg |
極限功率輸入 | 3.4 kW |
電機(jī)額定功率 | 6.1 kW |
油容量 | 1.43 l |
所有數(shù)字均為無(wú)氣鎮(zhèn)時(shí)的典型值。
蘇州昆山太倉(cāng)無(wú)錫上海張家港吳江常熟鎮(zhèn)江英國(guó)愛(ài)德華晶圓半導(dǎo)體干泵iH1000、iH600干式真空泵維修
常州揚(yáng)州泰州南通南京啟東海門如皋海門英國(guó)愛(ài)德華晶圓半導(dǎo)體干泵iH1000、iH600干式真空泵維修
海安如東宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州溫州英國(guó)愛(ài)德華晶圓半導(dǎo)體干泵iH1000、iH600干式真空泵維修
臺(tái)州衢州紹興金華寧波余姚福州廈門泉州英國(guó)愛(ài)德華晶圓半導(dǎo)體干泵iH1000、iH600干式真空泵維修
深圳廣州珠海廣州惠州通州桂林南寧南昌英國(guó)愛(ài)德華晶圓半導(dǎo)體干泵iH1000、iH600干式真空泵維修
贛州武漢成都重慶荊州太原蘭州烏魯木齊英國(guó)愛(ài)德華晶圓半導(dǎo)體干泵iH1000、iH600干式真空泵維修
相關(guān)分類
該廠商的其他產(chǎn)品
- EV-M20N EV-M102N 日本荏原干式真空泵EV-M20N EV-M102N維修
- STPH301C STPH451C 愛(ài)德華STPH301C STPH451C渦輪分子真空泵
- STPA1603C STPA2203C 愛(ài)德華STPA1603C STPA2203C渦輪分子真空泵
- STPA803C STPA1303C 愛(ài)德華STPA803C STPA1303C渦輪分子真空泵
- STP1003 STP1003C 英國(guó)愛(ài)德華STP1003 渦輪分子真空泵維修
- 愛(ài)德華T-Station 85分子渦輪真空泵維修
- STP301 STP603 英國(guó)愛(ài)德華渦輪分子真空泵STP301 STP603
- STP-XA3203C STP-XA4503C 英國(guó)愛(ài)德華渦輪分子真空泵STP-XA3203C維修