海博爾帶您了解無塵車間管理制度（五）

5．2 無塵車間潔凈度定期檢測(cè)制度/測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)

　　5.2.1 為了保證潔凈室的潔凈度滿足工藝要求，必須定期對(duì)潔凈室內(nèi)的潔凈度進(jìn)

　　行檢測(cè)。

　　5.2.2 檢測(cè)測(cè)試設(shè)備：激光粒子記數(shù)器

　　5.2.3 檢測(cè)周期：每周一上午、下午對(duì)各潔凈區(qū)域進(jìn)行一次檢測(cè)

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　　5.2.4 檢測(cè)條件：靜態(tài)潔凈度測(cè)試

　　5.2.5 數(shù)據(jù)收集整理：將每次檢測(cè)的結(jié)果輸入監(jiān)控室的電腦中儲(chǔ)存，并在每個(gè)季

　　度末（或下季度初）給各部門發(fā)該季度的潔凈度記錄圖表電子檔通報(bào)給各

　　部門。

　　5.2.6 各潔凈區(qū)域潔凈級(jí)別標(biāo)準(zhǔn)：按照《半導(dǎo)體公司能源管理標(biāo)準(zhǔn)》要求執(zhí)行。

　　5.2.7 潔凈室用凈化空調(diào)系統(tǒng)及設(shè)備的維護(hù)管理與相應(yīng)的操作規(guī)程、維修制度等

　?。ò▋艋照{(diào)系統(tǒng)和潔凈室相關(guān)的公用動(dòng)力系統(tǒng)的設(shè)備、管線等管理維

　　護(hù)，如，空氣過濾器、空調(diào)機(jī)、局部?jī)艋O(shè)備、冷凍機(jī)及水泵、純水設(shè)備、

　　配電設(shè)備、安全報(bào)警設(shè)施等）執(zhí)行威世半導(dǎo)體(西安)有限公司廠務(wù)部相關(guān)