中型等離子清洗機：
主要應用于LCD、連接器、鍵合前等大規(guī)模生產(chǎn)領域。

特點：所有元器件及核心部件采用進口，保證了整機的穩(wěn)定性和使用壽命。

真空泵采用進口旋片泵，是適用于等離子工藝環(huán)境使用的可長時間工作的體系，在抗氧化、耐腐蝕等諸多方面積累了豐富的經(jīng)驗，使泵的壽命大大提高，并有效降低了泵的維護成本，泵的各項保護措施完善，提高了長時間工作極限，泵油為耐高溫、抗氧化油，泵具有可自行緩解溫度過高的散熱體系，無需水冷。泵體內(nèi)置于機柜內(nèi)部，使機器緊湊，占地面積小。

控制方式：自動控制系統(tǒng)采用PLC加觸摸屏控制，所有工藝參數(shù)、工藝過程實時監(jiān)控，并顯示運行狀態(tài)、報警記錄和工藝曲線記錄、工作時間記錄，適合維護，可以提供工藝參考。

標準型號：NT-60、NT-80、NT-100、NT-120、NT-150。

◎可存儲50組工藝配方，隨意調(diào)用。
◎清洗時間、潔凈壓力、射頻功率、工藝氣體流量、設定可調(diào)。
◎工藝參數(shù)受密碼保護，分級密碼管理查詢。
◎一鍵完成全自動工藝，實時故障報警、非法操作提示、清潔結束提示等。
◎自動提醒系統(tǒng)維護、更換真空泵油等，避免機器過載、過老化情形下工作，延長使用壽命。
◎氣體質(zhì)量流量計采用美國進口，由模擬輸入輸出，量程為0～200sccm可在量程范圍內(nèi)無級調(diào)節(jié)，根據(jù)特殊的工藝要求可用PLC可對質(zhì)量流量計進行PID調(diào)節(jié)而實現(xiàn)真空度的控制。
◎根據(jù)特殊的工藝要求可使用干泵，尾氣處理設備，油過濾器，過濾返油裝置等。電極結構的高等離子通量設計能很好地提高等離子體地均勻性及穩(wěn)定性。