三維表面測(cè)量?jī)x采用多孔共聚焦技術(shù)，結(jié)合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測(cè)器的孔洞，再將物鏡垂直移動(dòng)，以類似斷層攝影方式，可在短時(shí)間(約幾秒)內(nèi)精確量測(cè)物體的三維數(shù)據(jù)。其測(cè)量方式是非接觸式，不會(huì)破壞樣品的表面，不需要在真空環(huán)境下測(cè)量，也可以用顯微鏡測(cè)量的功能來觀測(cè)樣本，其在嚴(yán)酷的工作環(huán)境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在測(cè)量漸變較大的高度時(shí)，跟其他方法相比，可以更精確量測(cè)物體高度，建立3D立體影像，優(yōu)勢(shì)相當(dāng)明顯。

     NanoFocus µsurf cylinder汽缸表面無損檢測(cè)系統(tǒng)是氣缸套的表面高分辨率非破壞性測(cè)量的共焦三維表面測(cè)量系統(tǒng)。在眾多汽車公司和供應(yīng)商的開發(fā)與質(zhì)量控制部門被廣泛使用。配合潛望鏡式光學(xué)設(shè)計(jì)，測(cè)量頭浸沒在缸孔，可在非常短的時(shí)間到達(dá)任何測(cè)量位置自動(dòng)化的測(cè)量過程都將存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)庫中便于重復(fù)測(cè)量和連續(xù)檢驗(yàn)。  

     測(cè)量過程中的自動(dòng)化選項(xiàng)由一個(gè)可以自動(dòng)直線運(yùn)行的機(jī)械系統(tǒng)所完成，測(cè)量頭可通過移動(dòng)自動(dòng)完成位于一個(gè)發(fā)動(dòng)機(jī)的多個(gè)氣缸的檢測(cè)，整個(gè)過程中不需要用戶的再引導(dǎo)或人工干預(yù)，此系統(tǒng)配備有懸臂系統(tǒng)和托盤保證了人體工學(xué)的工作環(huán)境。

應(yīng)用

三維表面測(cè)量?jī)x用來測(cè)量汽車引擎缸體內(nèi)部(發(fā)動(dòng)機(jī)氣缸內(nèi)壁)表面物理形貌，進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析(磨損分析、缺陷分析)，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。有利于提高成形性，改善外觀以及涂漆性能，降低磨損，提高效率。

產(chǎn)品特性：

（1）耐用可靠

（2）無損測(cè)量

（3）光學(xué)分辨率高

（4）速度快，數(shù)秒內(nèi)完成測(cè)量

（5）真實(shí)的3D數(shù)據(jù)

產(chǎn)品功能：

（1）紋理分析（角度分析）

（2）粗糙度計(jì)算符合DIN EN ISO標(biāo)準(zhǔn)

（3）計(jì)算三維表面粗糙度參數(shù)

（4）磨損分析，缺陷檢測(cè)和體積參數(shù)

技術(shù)參數(shù)：

LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h

測(cè)量時(shí)間：5~10秒

測(cè)量原理：非接觸、共聚焦

計(jì)算機(jī)：高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，功能全面的軟件，有拼接功能，

工作電源：100-240V, 50-60Hz, input<45W

外型尺寸：高490mm，特殊轉(zhuǎn)接環(huán)直徑280mm

集成箱尺寸（包含主機(jī)，系統(tǒng)控制器，電子模塊等）：540*710*795mm

重量：11KG

潔凈室等級(jí): Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)

物鏡倍數(shù) 10X 20X 50X

單次測(cè)量面積（um） 1100*1100 550*550 220*220

NA值 0.3 0.45/0.6 0.8

工作距離（mm） 10.1 3.1/0.9 1

Z軸精度（nm） 20 <10 <2

XY軸精度（um） 1.9 0.95 0.38