SZ-ST2258A型多功能數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。

SZ-ST2258A型多功能數(shù)字式四探針測試儀特點(diǎn)：

主機(jī)主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成。儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入；具有零位、滿度自校功能；電壓電流全自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程；測試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。本測試儀特贈(zèng)設(shè)測試結(jié)果分類功能，最大分類10類。

儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、結(jié)構(gòu)緊湊、使用簡便等特點(diǎn)。

儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測試。

探頭選配：

根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭，以測試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；也有球形鍍金銅合金探針探頭，可測柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜（ITO膜）或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具，還可對電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測量。配探頭，也可測試電池極片等箔上涂層電阻率方阻。

測試臺選配：一般四探針法測試電阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型測試臺。二探針法測試電阻率測試選SZT-K型測試臺，也可選配SZT-D型測試臺以測試半導(dǎo)體粉末電阻率，選配SZT-G型測試臺測試橡塑材料電阻率。

 配ST2553-F01探頭測硅片

配ST2558B-F01測ITO膜

基本技術(shù)參數(shù)：

1. 測量范圍、分辨率（可向下拓展1～3個(gè)數(shù)量級，括號內(nèi)為向下拓展3個(gè)數(shù)量級）

     電    阻：1.0×10^-3 ～ 200.0×10⁵  Ω,    分辨率0.1×10^-3 ～ 0.1×10⁴  Ω

                （1.0×10^-6 ～ 200.0×10²  Ω,    分辨率0.1×10^-6 ～ 0.1×10² Ω）

     電 阻 率：1.0×10^-3 ～ 200.0×10³ Ω-cm  分辨率0.1×10^-3 ～ 0.1×10³  Ω-cm

                （1.0×10^-6 ～ 200.0×10¹ Ω-cm  分辨率0.1×10^-6 ～ 0.1×10¹  Ω-cm）

     方塊電阻：5.0×10^-3 ～ 100.0×10⁴ Ω/□  分辨率0.5×10^-3 ～ 0.1×10³  Ω/□

                （5.0×10^-6 ～ 100.0×10¹ Ω/□  分辨率0.5×10^-6 ～ 0.1×10¹  Ω/□）

2. 材料尺寸(由選配測試臺和測試方式?jīng)Q定)

   直    徑： SZT-A圓測試臺直接測試方式 Φ15～130mm，手持方式不限

   SZT-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm，手持方式不限.

   長(高)度：  測試臺直接測試方式 H≤100mm,    手持方式不限.

   測量方位:  軸向、徑向均可

3. 量程劃分及誤差等級

4) 工作電源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W

5) 外形尺寸：W×H×L=215mm×85mm×190mm

      凈   重：≤1.5～2.0kg

儀器成套組成：由主機(jī)、選配的四探針探頭、測試臺等部分組成。