1、Exploiter-E200P產(chǎn)品特色

（1）傳輸管路的優(yōu)化設(shè)計(jì)，有效地避免管路堵塞及交叉污染問(wèn)題

（2）工業(yè)化級(jí)別標(biāo)準(zhǔn)集成：PLC+工控機(jī)+觸摸屏

（3）軟件操作界面友好，可真正實(shí)現(xiàn)“一鍵沉積”

（4）完善全面的安全互鎖方案

（5）實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)鍍膜工藝

2、Exploiter-E200P可制備的材料種類

（1）氧化物：Al₂O₃、TiO₂、SiO₂、HfO₂、Ta₂O₅、ZrO₂、ZnO、SnO₂、La₂O₃、Lu₂O₃等

（2）金屬材料及合金：Fe、Co、Ni、Cu、Ag、Au、Ru、Pt、Ag、Au等

（3）二元/多元材料：AlN、HfON、LaAlO₃、MnN、WN等

（4）納米層壓材料：(Al₂O₃/ZrO₂)_n等

3、Exploiter-E200P技術(shù)指標(biāo)

（1）本底真空：＜5.0×10^-3torr，高性能機(jī)械泵（可定制其它款型）

（2）樣品腔室：φ200mm+粉末顆粒包裹腔（可定制其它款型）

（3）前驅(qū)體源：3路

（4）氧化/還原反應(yīng)物：3路

（5）沉積溫度：室溫-500℃（可定制其他溫度）

（6）前驅(qū)體管道溫度：室溫-120℃（可定制其他溫度）

（7）源瓶加熱溫度：室溫-120℃（可定制其他溫度）