真空快速退火爐RTP-材料設(shè)備
- 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/8/28 7:04:36
- 訪問(wèn)次數(shù) 1756
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真空快速退火爐RTP-材料設(shè)備
3英寸、4英寸、6英寸、8英寸真空快速退火爐系統(tǒng)。
應(yīng)用:
RTA(快速熱退火); RTO(快速熱氧化);注入退火;擴(kuò)散;化合物半導(dǎo)體退火;滲氮;滲硅; 結(jié)晶化與致密化;
真空快速退火爐RTP-材料設(shè)備
特點(diǎn):
適用于2英寸~8英寸晶圓,高可靠性和低擁有成本。不銹鋼冷壁腔體技術(shù); 高工藝重復(fù)性,超清潔無(wú)污染環(huán)境、 高冷卻速率低記憶效果。 可實(shí)現(xiàn)高達(dá)10-6 mbar的高真空環(huán)境。 高溫計(jì)和熱電偶控制,高速數(shù)字PID溫度控制器,邊緣高溫計(jì)視點(diǎn)保障了化合物半導(dǎo)體和小樣品的基座的加強(qiáng)溫度控制。
使用特點(diǎn):
溫度范圍:RT to 1500°C;
斜坡速率:最高250°C/s;
氣體混合功能:使用質(zhì)量流量控制器控制;
真空范圍:大氣壓~10-6 Torr,可配置分子泵;
本系統(tǒng)提供全電腦控制,應(yīng)用控制軟件兼容window系統(tǒng)。