RMS-1000P RMS-1000P高溫四探針測量系統(tǒng)
參考價 | ¥ 18 |
訂貨量 | ≥1 |
- 公司名稱 武漢佰力博科技有限公司
- 品牌
- 型號 RMS-1000P
- 產(chǎn)地 中國武漢
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2018/8/28 16:55:20
- 訪問次數(shù) 366
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
Partulab RMS-1000P高溫四探針測量系統(tǒng)主要用于評估半導體薄膜和薄片的導電性能,該系統(tǒng)采用直排四探針測量原理和單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國A.S.T.M標準設(shè)計研發(fā),可以實現(xiàn)高溫、真空及惰性氣氛條件下測量硅、鍺 單晶(棒料、晶片)電阻率和硅外延層、擴散層和離子注 入層的方塊電阻以及測量導電玻璃(ITO)和其它導電薄膜的方塊電阻和電阻率。該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于高??蒲性核推髽I(yè)單位半導體薄膜和薄片材料電學性能研究。
技術(shù)規(guī)范:
測量溫度:RT-1000℃ | 測量組合:四探針雙電測組合測量 |
升溫斜率:0-10℃/min (典型值:3℃/min) | 樣品尺寸:φ15~30mm,d<4mm薄片或薄膜 |
控溫精度:±0.5℃ | 電極材料:碳化鎢針 |
電阻測量范圍:0.1mΩ~1MΩ | 針尖絕緣電阻:≥1000MΩ |
電阻率測量范圍:0.01mΩ.cm~100KΩ.cm | 絕緣材料:99氧化鋁陶瓷 |
電導率測量范圍:0.00001s/cm~100000s/cm | 供電:220V±10%,50Hz |
功能特點:
★ 高溫爐膛、測量夾具、顯示及軟件集成于一體,測量精度更高,儀器更加穩(wěn)定且易維護;
★RMS系列機型采用RAM嵌入式開發(fā)平臺,可以進行在線升級、遠程協(xié)助及故障診斷;
★多功能真空電學加熱爐可實現(xiàn)高溫、真空、氣氛測量環(huán)境;
★ 爐膛采用進口金屬材料,耐高溫、抗氧化,可實現(xiàn)多種環(huán)境下的電學測量;
★采用三段PID精確控溫,實現(xiàn)不同溫度區(qū)間的精確控溫,控溫精度達到±0.5℃;
★爐膛升溫故障診斷監(jiān)控設(shè)計,隨時監(jiān)測爐膛運行情況