靶材材質 | 金、銀、鉑 | 靶材尺寸 | φ50mm |
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產地類別 | 國產 | 價格區(qū)間 | 1-5萬 |
濺射氣體 | 空氣、氬氣 | 控制方式 | 半自動 |
樣品倉尺寸 | 160mm×120mm(D×H)mm | 樣品臺尺寸 | φ50mm |
應用領域 | 環(huán)保,石油,能源,航天,綜合 | 計時器 | 0-999S |
速率 | 0-10nm/min | 真空度 | 1PA |
用途 | 用于掃描電子顯微鏡中的噴金 | 電流 | 0-50ma |
SD-900 型離子濺射儀噴金儀鍍膜儀樣品制備外觀亮麗做工精致,旋鈕式定時器檔位清晰,手感舒適;特殊定制的真空指示和電流指示表頭沉穩(wěn)大氣,具有歐洲典雅風范;前面板上的微泄漏氣閥門可以連接多種氣體;調節(jié)濺射電流大小,成膜速度快,質量好;功能控制和定時皆由CPU調度,使用范圍廣。
SD-900型離子濺射儀噴金儀鍍膜儀樣品制備工作時結合內部自動控制電路很容易控制真空室壓強、電離電流及選擇所需的電離氣體,獲得好的鍍膜效果。
配有高位定性的飛躍真空泵
“SD-900,The utility model has comfortable hand feeling, strong practicability, easy implement, novel construction, simple structure.
The micro leakage valve on the front panel can connect various gases; The sputtering current is regulated, the film speed is fast and the quality is good.;
Functional control and timing are all scheduled by CPU, with a wide range of applications.
It is easy to control the vacuum chamber pressure, ionization current and choose the required ionization gas when working in conjunction with the internal automatic control circuit, so as to achieve the best coating effect.
High qualitative jump vacuum pump
參數(shù)
2 主機規(guī)格:300mm×360mm×380mm(W×D×H)
2 靶(上部電極):50mm×0.1mm(D×H)
2 靶材:Au(標配)
2 樣品室:玻璃腔體160mm×120mm(D×H)
2 靶材尺寸:Ф50mm
2 真空度:1 PA
2 電流:0-50mA
2 定時器:數(shù)碼計時0-999S
2 微型真空氣閥:可連接φ3mm軟管
2 可通入氣體: 多種
2 電壓: 0 -1600 DCV
2 機械泵:標準配置2L/S(國產VRD-8)
速率:0--10nm/min
用途:
1、適用于電鏡實驗室的掃描電子顯微鏡(SEM)觀察前對樣品的噴金、噴鉑。
2、非導體材料實驗電極制作(噴金、噴鉑。噴銀等)
3、其他可以滿足條件的鍍膜實驗。
特點:
特點:
1、簡單、經(jīng)濟、可靠、外觀精美。
2、可調節(jié)濺射電流和真空室壓強以控制鍍膜的速率和顆粒的大小,顆粒大小約4-20nm。
3、SETPLASMA手動啟動按鈕可預先設置好壓強和濺射電流避免對膜造成不必要的損傷。
4、真空保護可避免真空過低造成設備短路。
5、同時可以通過更換不同的靶材(金、鉑、銥、銀、銅等),以達到更細顆粒的涂層。
6、通過通入不同的惰性氣體以達到更純凈的涂層。
需要鍍膜的樣品
電子束敏感的樣品 | 非導電的樣品 | 新材料 |
主要包括生物樣品, 塑料樣品等。S EM 中的電子束具有較高能量, 在與樣品的相互作用 過程中,它以熱 的形式將部分能量 傳遞給樣品。如果 樣品是對電子束敏感 的材料,那這種相 互作用會破壞部分 甚至整個樣品結構。 這種情況下,用一種 非電子束敏感材料 制備的表面鍍層就 可以起到保護層 的作用,防止此類損傷; | 由于樣品不導電, 其表面帶有“電子陷阱”, 這種表面上的電子 積累被稱為“充電”。 為了消除荷電效應, 可在樣品表面鍍一層 金屬導電層,鍍層作為 一個導電通道, 將充電電子從材 料表面轉移走, 消除荷電效應。 在掃描電鏡成像時, 濺射材料增加 信噪比,從而獲 得更好的成像質量。 | 非導電材料實驗電極 制作觀察導電特性 |