美國(guó)GasPro TEM-100過(guò)濾器PTFE產(chǎn)品介紹

TEM-100高流量ePTFE串聯(lián)濾器

GasPro TEM-100系列濾波器設(shè)計(jì)用于3 nm顆粒截留率高達(dá)300 scfm，且溫度高達(dá)80C（176 F）。ePTFE膜（2.04 m2/22.0平方英尺)使用聚丙烯支撐結(jié)構(gòu)封閉在316L不銹鋼外殼，具有的流動(dòng)性和耐化學(xué)性。使用標(biāo)準(zhǔn)Viton O形圈（其他O形圈材料可在重新測(cè)試時(shí)獲得）。

TEM-100過(guò)濾器應(yīng)用程序

•通用和工藝惰性氣體設(shè)施半導(dǎo)體、平板顯示器等高純度產(chǎn)品應(yīng)用程序。

•用于關(guān)鍵平板工藝的氣體，包括基板退火。

•關(guān)鍵工藝的清潔干燥空氣，包括前開口統(tǒng)一吊艙（FOUP）清潔和光刻

TEM-100規(guī)格說(shuō)明

•過(guò)濾等級(jí)我們的多孔ePTFE過(guò)濾器可提供有效的3 nm顆粒保留。

•高工作溫度*80°C（176°F）。

建議更換：在69oC（156oF）以上運(yùn)行6個(gè)月。

•大工作壓力20°C（68°F）時(shí)為17.2 bar（250 psig）。

•大正向流量壓差20oC（68oF）：6.0bar（87 psi）

80oC（176oF）：4.0bar（58 psi）

TEM-100功能和優(yōu)點(diǎn)

•電拋光外殼過(guò)濾器組件具有15Ra電拋光316L不銹鋼外殼，防止腐蝕和粒子在內(nèi)表面上積聚。

•包裝外清潔度

我們的GasPro™ 清潔TEM-100過(guò)濾器，并包裝在無(wú)塵室內(nèi)，不含有機(jī)物包裝外、無(wú)顆粒和無(wú)化學(xué)品清潔度。終組裝已清除使用過(guò)濾氮?dú)膺M(jìn)行初始清潔。附加的預(yù)處理是可選的。

•多種配件選項(xiàng)，便于安裝標(biāo)準(zhǔn)配件選項(xiàng)包括端面/墊片密封，壓縮、對(duì)焊和NPT。特殊配件，包括三夾鉗（三葉草）衛(wèi)生和法蘭類型，可根據(jù)要求提供。

•氦泄漏測(cè)試所有裝置均以1x10-9 atm cc/s的速度進(jìn)行測(cè)試。

TEM-115-16 1.0“端面密封入口/出口

PTFE/316L不銹鋼

鋼聚丙烯

氟橡膠®密封*899.9毫米（35.43英寸）

TEM-128-24 1.5“FNPT入口/出口864 mm（34.0”）

TEM-150-24 1.5“短管入口/出口946.2 mm（37.25”）

TEM-160-24 1.5“三夾端889 mm（35.0”）

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