S8000G S8000G超分辨雙束掃描電鏡
- 公司名稱 北京桔燈地球物理勘探股份有限公司
- 品牌
- 型號(hào) S8000G
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2018/1/24 14:15:39
- 訪問次數(shù) 667
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特點(diǎn)
- 低電壓高分辨觀測能力——新一代鏡筒內(nèi)電子加速、減速技術(shù)，
- 磁性樣品高分辨成像及分析——靜電-電磁復(fù)合物鏡，物鏡無磁場外泄
- 4個(gè)新一代探測器，可實(shí)現(xiàn)9種圖像觀測，對(duì)樣品信息的采集更加全面
- 大型樣品室，超過20個(gè)擴(kuò)展接口（為原位觀測、分析創(chuàng)造了良好的工作環(huán)境）
- 兼容多種分析軟件，并*實(shí)現(xiàn)與TOF-SIMS、Raman聯(lián)用
- 簡化操作——新一代操作軟件，FIB鏡筒實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)的離子鏡筒對(duì)準(zhǔn)功能
集成多項(xiàng)創(chuàng)新性設(shè)計(jì)，拓展新應(yīng)用領(lǐng)域的利器
S8000G是TESCAN新一代FIB-SEM的*成員，集成了BrightBeam™ SEM鏡筒、Orage™ GaFIB鏡筒、OptiGIS氣體注入系統(tǒng)等多項(xiàng)創(chuàng)新設(shè)計(jì)，在高分辨能力、原位應(yīng)用擴(kuò)展能力和分析擴(kuò)展能力方面達(dá)到了業(yè)內(nèi)*水平，此外新一代操作流程和軟件也給使用者帶來更舒適、高效的體驗(yàn)。
創(chuàng)新的電子光學(xué)鏡筒，使電鏡擁有更加出色的超高分辨率
S8000G配置了的BrightBeam™鏡筒，實(shí)現(xiàn)了無磁場超高分辨成像，可以zui大化的實(shí)現(xiàn)各種分析，包括磁性樣品的分析。新型鏡筒中的電子光路設(shè)計(jì)增強(qiáng)了低能量電子成像分辨率，特別適合對(duì)電子束敏感樣品和不導(dǎo)電樣品的分析。
另外，EquiPower™透鏡技術(shù)可有效減少能量損耗并保證電子鏡筒的穩(wěn)定性。
配備的多種探測器，更好的表面靈敏度和對(duì)比度
S8000G系統(tǒng)可配置的多種探測器，包括透鏡內(nèi) Axial detector 以及 Multidetector，可選擇不同角度和不同能量來收集信號(hào)，信息種類更多，同時(shí)獲得更好的表面靈敏度和對(duì)比度。
新一代 Orage™ Ga FIB鏡筒，適用于各類具有挑戰(zhàn)性的納米加工任務(wù)
S8000G離子能量zui低可達(dá)500eV，擁有更優(yōu)秀的低壓樣品制備能力，可以快速制備無損超薄TEM樣品
創(chuàng)新的Orage™ Ga FIB鏡筒配有*的離子光學(xué)系統(tǒng)和設(shè)計(jì)的OptiGIS™氣體注入系統(tǒng)，使得TESCAN S8000G成為了世界*的樣品制備和納米圖形成型的儀器。S8000G束流可達(dá)100nA，具有超快速的加工能力，新穎的SmartMill高速切割功能，使得加工效率提升一倍。
技術(shù)參數(shù)
電子光學(xué)系統(tǒng)
電子槍 | 高亮度肖特基場發(fā)射電子槍 |
電子光學(xué)鏡筒 | Bright Beam™ 電子光學(xué)鏡筒 |
分辨率 |
|
高真空模式 | 0.9nm@15kV |
1.4nm@1kV（電子束減速模式） | |
1.6nm@200V（電子束減速模式） | |
低真空模式 | STEM（透射模式）：0.9nm@30kV |
BSE（背散射）:2.0nm@30kV | |
LVSTD（低真空二次電子探測器）：1.5nm@30kV | |
放大倍數(shù) | 1~2,000,000倍 |
zui大視野 | 7mm@WD=6mm（分析距離） |
加速電壓 | 50V~30kV |
探針電流 | ~400nA |
離子光學(xué)系統(tǒng)
離子鏡筒 | Orage™高分辨 Ga +FIB鏡筒 |
分辨率 | < 2.5 nm @ 30 kV (工作距離為SEM-FIB 交叉點(diǎn)) |
放大倍率 | zui小150倍 @交叉點(diǎn)，加速電壓 10 kV (對(duì)應(yīng)視野為1mm)，zui大1,000,000 x |
加速電壓 | 0.5 kV ~ 30 kV |
探針電流 | < 1 pA ~ 100 nA |
SEM-FIB交叉點(diǎn) | SEM (WD = 6 mm) – FIB (WD = 12 mm) |
SEM-FIB 夾角 | 55° |
氣體注入系統(tǒng) | 5針多氣體注入系統(tǒng) (選配) 單針多氣體注入系統(tǒng) (選配) |
探測器、樣品室和樣品臺(tái)
探測器（標(biāo)配） | Multidetector (In-Beam) Axial detector (In-Beam) E-T detector (In-Chamber) Retractable BSE (In-Chamber) |
樣品室 | 內(nèi)部尺寸: 340 mm (寬) × 315 mm (深) × 320 mm (高 )； 接口數(shù)量: 20個(gè)；內(nèi)置主動(dòng)減震 |
樣品臺(tái) | 電腦控制的全自動(dòng)樣品臺(tái) X/Y = 130 mm, Z = 90 mm R = 360°, T = -60°~ +90° |
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