高溫介電測量系統(tǒng),低溫介電測量系統(tǒng),高低溫介電測量系統(tǒng),高溫四探針測量系統(tǒng),高溫絕緣電阻率測量系統(tǒng),變溫介電測量系統(tǒng),多工位玻璃試管密封旋轉(zhuǎn)系統(tǒng),低溫液氮傳輸泵
薄膜介電測量系統(tǒng)
在Partulab數(shù)十位工程師和用戶的共同努力和見證下,讓薄膜介電測量系統(tǒng)有了全新定義。全新的實(shí)現(xiàn)低溫-160℃到高溫400℃下測量薄膜電介質(zhì)材料。
技術(shù)規(guī)格:
探針臂個數(shù):4個或6個
測量溫度: 10K~675K
測量精度:0.05%
測量參數(shù):C電容
zui大樣品尺寸:≤51mm
XYZ位移平臺行程:X軸51mm,精度20μm;Y軸25mm,精度10μm;Z軸25mm,精度10μm數(shù)據(jù)傳輸:4個USB接口
測量原理:
該系統(tǒng)配備SRS公司的CTC-100低溫溫控儀與Wayne Kerr阻抗分析儀和MEMS多功能材料電學(xué)測量軟件無縫連接,實(shí)現(xiàn)薄膜電介質(zhì)材料的變溫電學(xué)測量,無需客戶再編寫應(yīng)用程序,大大節(jié)約器件和材料研發(fā)時間。
樣品溫度準(zhǔn)確性和溫度穩(wěn)定性是整個低溫系統(tǒng)的關(guān)鍵,系統(tǒng)配置3個低溫傳感器,一個在樣品臺上,一個在屏蔽罩上,一個在探針臂上,通過監(jiān)測三個地方的溫度,確??梢蕴峁┮粋€準(zhǔn)確的控溫環(huán)境。為了避免探針臂的溫度傳遞到樣品上,導(dǎo)致樣品溫度高于樣品臺溫度,探針臂和探針必須做熱沉處理。
標(biāo)準(zhǔn)配置:
Partulab CPS系列低溫真空探針臺:CPS-7000或CPS-80000;PPS-90真空輔助系統(tǒng);
VSZ70KIT可視化視覺系統(tǒng)
Wayne Kerr 6500系列阻抗分析儀(選件):6500B精密阻抗分析儀
Partulab DielectricMeaskit 測量套件:FT-BNC 同軸真空BNC Feedthrough
CSH-DE 介電同軸樣品固定座
DCP50R-W 50Ω阻抗碳化鎢針,SMA接頭,針尖半徑25µm
PA-DE 介電測量探針臂
MEMS多功能材料電學(xué)測量分析軟件