實(shí)驗(yàn)室薄膜介電測(cè)量?jī)x技術(shù)規(guī)格

探針臂個(gè)數(shù)：4個(gè)或6個(gè)

測(cè)量溫度： 10K~675K

測(cè)量精度：0.05%

測(cè)量參數(shù)：C電容

zui大樣品尺寸：≤51mm

XYZ位移平臺(tái)行程：X軸51mm,精度20μm；Y軸25mm,精度10μm；Z軸25mm,精

度10μm數(shù)據(jù)傳輸：4個(gè)USB接口

實(shí)驗(yàn)室薄膜介電測(cè)量?jī)x測(cè)量原理

該系統(tǒng)配備SRS公司的CTC-100低溫溫控儀與Wayne Kerr阻抗分析儀和MEMS多

功能材料電學(xué)測(cè)量軟件無縫連接，實(shí)現(xiàn)薄膜電介質(zhì)材料的變溫電學(xué)測(cè)量，無需客戶

再編寫應(yīng)用程序，大大節(jié)約器件和材料研發(fā)時(shí)間。

樣品溫度準(zhǔn)確性和溫度穩(wěn)定性是整個(gè)低溫系統(tǒng)的關(guān)鍵，系統(tǒng)配置3個(gè)低溫傳感器，

一個(gè)在樣品臺(tái)上，一個(gè)在屏蔽罩上，一個(gè)在探針臂上，通過監(jiān)測(cè)三個(gè)地方的溫度，

確?？梢蕴峁┮粋€(gè)準(zhǔn)確的控溫環(huán)境。為了避免探針臂的溫度傳遞到樣品上，導(dǎo)致樣

品溫度高于樣品臺(tái)溫度，探針臂和探針必須做熱沉處理。

標(biāo)準(zhǔn)配置

Partulab CPS系列低溫真空探針臺(tái)：CPS-7000或CPS-80000；PPS-90真空輔助系統(tǒng)；

VSZ70KIT可視化視覺系統(tǒng)

Wayne Kerr 6500系列阻抗分析儀（選件）：6500B精密阻抗分析儀

Partulab DielectricMeaskit 測(cè)量套件：FT-BNC 同軸真空BNC Feedthrough

CSH-DE 介電同軸樣品固定座

DCP50R-W 50Ω阻抗碳化鎢針，SMA接頭，針尖半徑25µm

PA-DE 介電測(cè)量探針臂

MEMS多功能材料電學(xué)測(cè)量分析軟件