化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>薄膜生長設(shè)備>化學(xué)氣相沉積設(shè)備> 金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)MOVPE設(shè)備
金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)MOVPE設(shè)備
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 那諾中國有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2023/11/13 13:31:57
- 訪問次數(shù) 3620
聯(lián)系方式：吳運(yùn)祥18916157635 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,制藥 |
概述：
NANO-MASTER針對(duì)InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺(tái)式等離子輔助(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有5個(gè)鼓泡裝置(各帶獨(dú)立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺(tái)三個(gè)氣體環(huán)、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)、PC全自動(dòng)控制，*的安全互鎖。
目前，這項(xiàng)技術(shù)延伸到5個(gè)4"晶圓的立柜式獨(dú)立批處理系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以集成到集群配置中以滿足高產(chǎn)量的要求。
金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)MOVPE設(shè)備應(yīng)用：
- Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)
金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)MOVPE設(shè)備特點(diǎn)：
- 獨(dú)立系統(tǒng)
- 14”不銹鋼立方體腔體
- 1次在8”樣品臺(tái)上處理1個(gè)6”晶圓片或在12”樣品臺(tái)上處理5片4”片子
- 加熱的氣體管路
- RF等離子源，自動(dòng)調(diào)諧
- 淋浴頭氣體分布
- 1100°C的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)
- N2沖洗
- 手動(dòng)放置晶圓片
采購中心
化工儀器網(wǎng)