化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>薄膜生長(zhǎng)設(shè)備>化學(xué)氣相沉積設(shè)備>KJ-T1200-S60K-4C 四路高溫真空CVD設(shè)備
KJ-T1200-S60K-4C 四路高溫真空CVD設(shè)備
參考價(jià) | ¥ 89500 |
訂貨量 | ≥1 |
- 公司名稱 鄭州科佳電爐科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào) KJ-T1200-S60K-4C
- 產(chǎn)地 河南省鄭州市高新開發(fā)區(qū)玉蘭街55號(hào)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2016/10/20 9:52:40
- 訪問次數(shù) 319
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箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車爐、退火爐、升降爐、微波燒結(jié)爐、烤瓷爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件,加熱元件及耐火材料。
鄭州科佳電爐有限公司位于鄭州電子商務(wù)產(chǎn)業(yè)園,公司是專業(yè)做各種高溫加熱設(shè)備的生產(chǎn)廠家,產(chǎn)品主要用于CVD石墨烯制備設(shè)備、熒光粉燒結(jié)設(shè)備、氧化鋯生物陶瓷燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備、陶瓷材料的微波燒結(jié)、稀有金屬的區(qū)域提純等研究發(fā)展方向。公司主營產(chǎn)品有箱式馬弗爐,管式電阻爐,真空爐,氣氛爐,CVD系統(tǒng),牙科爐,升降爐,軌道爐等。
產(chǎn)品介紹:
KJ-T1200-S60K-4C型四路高溫真空CVD設(shè)備由KJ-T1200滑動(dòng)式快速退火管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成 ,zui高溫度可以達(dá)到1200度,極限真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì),可以對(duì)多種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。
KJ-T1200-S60K-4C系列快速退火爐爐管兩端安裝真空法蘭,真空度用分子泵可以到10-5Torr,機(jī)械泵可到10-3Torr。爐底安裝一對(duì)滑軌,可用手動(dòng)滑動(dòng)。加熱和冷卻速率zui大可達(dá)100°C/m。為取得zui快加熱,可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度,然后移動(dòng)爐子到樣品位置。為獲得zui快冷卻,可在樣品加熱后移動(dòng)爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達(dá)到10°C/s,是低成本快速熱處理的理想爐子。
應(yīng)用范圍:
KJ-T1200-S60K-4C型四路高溫真空CVD設(shè)備是一種特殊的高真空CVD系統(tǒng),是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品。
規(guī)格參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | ||
產(chǎn)品型號(hào) | KJ-T1200-S60K-4C | |
工作溫度 | 1100°C | |
zui高溫度 | 1200°C | |
加熱速率 | 建議:0- 10°C/min {zui大:0-20℃/min} | |
加熱區(qū) | 三溫區(qū) | |
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 200+350+200mm | |
控溫精度 | ±1°C | |
爐管直徑 | OD60mm | |
爐管長(zhǎng)度 | 大約1200mm-1400mm | |
真空法蘭 | 兩個(gè)不銹鋼密封法蘭,法蘭上已經(jīng)安裝數(shù)字式真空顯示計(jì),和閥門通過機(jī)械泵真空壓力可以達(dá)到5x10-2 torr,泄漏率zui大6 mtorr/min | |
溫控 | 智能PID多段程序控溫 | |
加熱曲線 | 30段可編程 | |
功率 | 4KW | |
電壓 | 220V,50HZ,單相 | |
質(zhì)子流量計(jì) | 4路精密質(zhì)子流量計(jì):數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制。 MFC 1范圍: 0~100 sccm MFC 2范圍: 0~200 sccm MFC 3范圍: 0~200 sccm MFC 4范圍: 0~500 sccm 氣路:4路 流量精度: 0.2% 進(jìn)氣和出氣接口: 1/4" 卡套 一個(gè)混氣罐。 每路氣路都有一個(gè)獨(dú)立的不銹鋼針閥控制。 通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量。 |
說明:1、本產(chǎn)品的規(guī)格參數(shù)僅供參考,以具體產(chǎn)品實(shí)際參數(shù)為準(zhǔn),請(qǐng)與銷售及咨詢客服人員。
2、產(chǎn)品圖片及外觀尺寸在不斷研發(fā)更新中、如有更改恕不另行通知。
3、除標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品外、我公司可根據(jù)客戶要求,進(jìn)行設(shè)計(jì)生產(chǎn),具體與銷售人員
:鮑婷 :