CVD-1200 天津1200℃真空CVD系統(tǒng)
參考價 | ¥ 999999 |
訂貨量 | ≥1 |
- 公司名稱 天津萬和天儀科技有限公司
- 品牌
- 型號 CVD-1200
- 產地 中國
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2016/10/12 16:42:24
- 訪問次數(shù) 440
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主要用途和適用范圍:
用于石墨烯生長、研發(fā)的爐,也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗。
主要技術參數(shù):
爐體結構 | 雙層爐殼間配有風冷系統(tǒng),有效保證外殼表面溫; *真空吸附成型的優(yōu)質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好 爐子底部裝有一對滑軌,移動平穩(wěn) 爐子可以手動從一端滑向另一端,實現(xiàn)快速的加熱和冷卻 支撐兩端安裝油壓緩沖器 爐蓋可開啟,可以實時觀察加熱的物料 |
機器電源 | 電壓:AC220V 50/60Hz;額定功率:4KW |
爐管 | 高純石英管,高溫下化學穩(wěn)定性強,耐腐蝕,熱膨脹系數(shù)極小 尺寸:Φ40/60/80/100*1200mm |
法蘭及支撐 | SUS304不銹鋼快速法蘭,通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空 一個卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷 可調節(jié)的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐 包含進氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合 |
加熱系統(tǒng) | 加熱元件采用優(yōu)質合金絲0Cr27Al7Mo2,表面負荷高、經久耐用 加熱區(qū)長度:410mm 恒溫區(qū)長度:200mm 工作溫度:≤1150℃ zui高溫度:1200℃ 升溫速率:10℃/min |
溫控系統(tǒng) | 溫度控制采用人工智能調節(jié)技術,具有PID調節(jié)、自整定功能 30段升降溫程序 測溫元件:N型熱電偶 恒溫精度:±1℃ |
混氣系統(tǒng) | 三路質量流量計:數(shù)字顯示、氣體流量自動控制 內置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥 管路采用不銹鋼管,接口為Φ6卡套 每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥 通過控制面板上的旋鈕來調節(jié)氣體流量 流量規(guī)格:0~1SLM 流量精度:±1.5% |
真空系統(tǒng) | 采用雙極旋片真空泵,真空度可達5x10-1 Torr 數(shù)顯式真空壓力表 可選高真空系統(tǒng)及真空計,壓力控制系統(tǒng)等 |
標準配置 | 主機1臺,說明書、合格證、保修卡各1份 |
可選配件 | 混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng),各種剛玉、石英坩堝,石英管,計算機控制軟件,無紙記錄儀,氧含量分析儀。 |