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德國HEIDENHAIN海德漢敞開式光柵尺

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德國HEIDENHAIN海德漢敞開式光柵尺常用使用系列LIP372  LIP382  LIP211  LIP281  LIP291  LIP471  LIP481  LIP571  LIP581  LIF471  LIF481
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  德國HEIDENHAIN海德漢敞開式光柵尺,也稱為光柵尺位移傳感器(光柵尺傳感器),是利用光柵的光學(xué)原理工作的測量反饋裝置。光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中,可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數(shù)字脈沖,具有檢測范圍大,檢測精度高,響應(yīng)速度快的特點(diǎn)。例如,在數(shù)控機(jī)床中常用于對刀具和工件的坐標(biāo)進(jìn)行檢測,來觀察和跟蹤走刀誤差,以起到一個補(bǔ)償?shù)毒叩倪\(yùn)動誤差的作用。
光柵尺按照制造方法和光學(xué)原理的不同,分為透射光柵和反射光柵。
莫爾條紋:以透射光柵為例,當(dāng)指示光柵上的線紋和標(biāo)尺光柵上的線紋之間形成一個小角度θ,并且兩個光柵尺刻面相對平行放置時,在光源的照射下,位于幾乎垂直的柵紋上,形成明暗相間的條紋。嚴(yán)格地說,莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度,以W表示。
莫爾條紋 W=ω /2* sin(θ /2)=ω /θ 。
莫爾條紋具有以下特征:
(1)莫爾條紋的變化規(guī)律
兩片光柵相對移過一個柵距,莫爾條紋移過一個條紋距離。由于光的衍射與干涉作用,莫爾條紋的變化規(guī)律近似正(余)弦函數(shù),變化周期數(shù)與光柵相對位移的柵距數(shù)同步。
(2)放大作用
在兩光柵柵線夾角較小的情況下,莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω、柵線角θ之間有下列關(guān)系。式中,θ的單位為rad,W的單位為mm。由于傾角很小,sinθ很小,則
W=ω /θ
若ω =0.01mm,θ=0.01rad,則上式可得W=1,即光柵放大了100倍。
(3)均化誤差作用
莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成,例如每毫米100線的光柵,10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋,這樣?xùn)啪嘀g的相鄰誤差就被平均化了,消除了由于柵距不均勻、斷裂等造成的誤差。
敞開式直線光柵尺設(shè)計(jì)用于需要高精度測量的機(jī)床和系統(tǒng)
典型應(yīng)用包括:
半導(dǎo)體工業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備
PCB電路板組裝機(jī)
超精密機(jī)床
高精度機(jī)床
測量機(jī)和比較儀,測量顯微鏡和其它精密測量設(shè)備
直接驅(qū)動

為客戶提供型號選擇:Heidenhain  LB302 6240mm Id.-Nr.:316531-71
Heidenhain  1m id.Nr.:533631-01
Heidenhain  LC 183 340mm ID.Nr.:557680-03
Heidenhain  528100-30 ECN 113 2048
HEIDENHAIN海德漢敞開式光柵尺 Heidenhain  AE LF 183C ID:346164-04
Heidenhain  LC 183 ID:557680-01
Heidenhain  ERN430 500 ID:385438-32
Heidenhain  295795-02
Heidenhain  ERN 430 5000impulse id.Nr:385430-27
HEIDENHAIN海德漢敞開式光柵尺 Heidenhain  LC 481 470mm id.Nr.:353703-17
Heidenhain  LC 182 840mm id.Nr.:368563-07
Heidenhain  315420-04 AE LB 382C
Heidenhain  ECN113.2048 ID:528100-30
Heidenhain  ID:631703-17
Heidenhain  ID:291697- 05
Heidenhain  ID: 291698-03
Heidenhain  ID:244957-01
Heidenhain  ID:310122-03
Heidenhain  ROD 486
Heidenhain  ROD486 Id.Nr.376886-A2
Heidenhain  ECN1132048 Id-Nr:528100-30
Heidenhain  MT12W Id.:231011-03 HEIDENHAIN海德漢敞開式光柵尺



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